カーボンナノチューブを合成する方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：石田敬 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-361296
公開番号（公開出願番号）：特開2003-226509
出願日： 2002年12月12日
公開日（公表日）： 2003年08月12日
要約：

【要約】【課題】改善されたカーボンナノチューブ(CNT)の合成方法を提供する。【解決手段】カーボンナノチューブの物理的、化学的及び/又は導電性特性を変更するために、イオンビーム2をカーボンナノチューブ4形成の前、間及び/又は後に用いる、気相からのカーボンの触媒蒸着により、支持体部材1上に形成された触媒層3にカーボンナノチューブ4を合成する方法とする。

請求項（抜粋）：

カーボンナノチューブの物理的、化学的及び/又は導電性特性を変更するために、カーボンナノチューブ形成の前、間及び/又は後に、イオンビームを用いることを特徴とする、気相からのカーボンの触媒蒸着によって、支持体部材上に形成された触媒層上にカーボンナノチューブ(CNT)を合成する方法。

IPC (8件)：

C01B 31/02 101 , B01J 37/02 301 , B01J 37/16 , C23C 16/04 , C23C 16/18 , C23C 16/26 , C23C 16/48 , C23C 16/513

FI (8件)：

C01B 31/02 101 F , B01J 37/02 301 P , B01J 37/16 , C23C 16/04 , C23C 16/18 , C23C 16/26 , C23C 16/48 , C23C 16/513

Fターム (47件)：

4G069AA03 , 4G069AA08 , 4G069BA22C , 4G069BB02A , 4G069BC17C , 4G069BC27A , 4G069BC32A , 4G069BC33A , 4G069BC66A , 4G069BC67A , 4G069BC68A , 4G069BC72A , 4G069BC75A , 4G069BD01C , 4G069BD02C , 4G069BD03A , 4G069BD07A , 4G069CD10 , 4G069DA06 , 4G069EB15X , 4G069FA01 , 4G069FA03 , 4G069FA08 , 4G069FB02 , 4G069FB40 , 4G069FB44 , 4G069FC04 , 4G069FC06 , 4G146AA11 , 4G146BA01 , 4G146BA04 , 4G146BA48 , 4G146BC08 , 4G146BC15 , 4K030AA11 , 4K030AA20 , 4K030BA01 , 4K030BA27 , 4K030BB12 , 4K030BB14 , 4K030DA05 , 4K030FA12 , 4K030FA14 , 4K030FA17 , 4K030JA01 , 4K030KA49 , 4K030LA11

引用特許：

審査官引用 (12件)

熱化学気相蒸着装置及びこれを用いた炭素ナノチューブの合成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-015874 出願人：李鉄真, 株式会社日進ナノテック
電界電子放出素子とその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-066552 出願人：株式会社東芝
ナノスケール構造体アセンブリ、電界放出装置、マイクロ波真空管増幅器、ディスプレイ装置、及び電界放出構造体の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-215600 出願人：ルーセントテクノロジーズインコーポレイテッド

全件表示

引用文献：

審査官引用 (3件)

Field emission from patterned carbon nanotube emitters produced by microwave plasma chemical vapor d
Defects caused by high-energy ion beams, as measured by scanning probe methods
Progress in ion projection lithography

前のページに戻る