特許
J-GLOBAL ID：200903084175766256

荷電粒子線装置及びこれを用いた試料表面観察方法

発明者：
内藤 儀彦

内藤 儀彦 について

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木村 憲雄

木村 憲雄 について

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畠山 雅規

畠山 雅規 について

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寺尾 健二

寺尾 健二 について


出願人/特許権者：
株式会社荏原製作所

株式会社荏原製作所 について


代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-047999
公開番号（公開出願番号）：特開2008-210715
出願日： 2007年02月27日
公開日（公表日）： 2008年09月11日
要約：
【課題】本発明は、試料を大気中に置きながらも、誘電体を介して荷電粒子を試料に照射することにより、その静電容量差から容易に試料表面の電位コントラストを検出し、試料表面の観測を可能とした荷電粒子線装置及びこれを用いた試料観測方法を提供することを目的とする。【解決手段】荷電粒子線を用いて試料表面を観測する荷電粒子線装置100であって、 内部圧力を真空に保った真空筐体10と、 該真空筐体の一部に設けられた誘電体膜11と、 前記真空筐体の外部であって、前記誘電体膜に対向する位置に試料80を載置する試料台60と、 前記誘電体膜と前記試料との間に、前記誘電体と前記試料の双方に接触する誘電体90を供給する誘電体供給手段70と、 前記誘電体膜に前記真空筐体側から荷電粒子線を照射する荷電粒子線源20と、 前記誘電体膜から前記真空筐体内に発生した電子を検出する電子検出器40と、を備えたことを特徴とする。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
荷電粒子線を用いて試料表面を観測する荷電粒子線装置であって、 内部圧力を真空に保った真空筐体と、 該真空筐体の一部に設けられた誘電体膜と、 前記真空筐体の外部であって、前記誘電体膜に対向する位置に試料を載置する試料台と、 前記誘電体膜と前記試料との間に、前記誘電体と前記試料の双方に接触する誘電体を供給する誘電体供給手段と、 前記誘電体膜に前記真空筐体側から荷電粒子線を照射する荷電粒子線源と、 前記誘電体膜から前記真空筐体内に発生した電子を検出する電子検出器と、を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置。
IPC (3件)：
H01J 37/28 ,  H01J 37/18 ,  H01J 37/244
FI (3件)：
H01J37/28 B ,  H01J37/18 ,  H01J37/244
Fターム (7件)：
5C033KK09 ,  5C033NN01 ,  5C033NN10 ,  5C033UU03 ,  5C033UU04 ,  5C033UU08 ,  5C033UU10
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (7件)
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