試料検査装置及び試料検査方法並びに試料検査システム

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-123711
公開番号（公開出願番号）：特開2007-292702
出願日： 2006年04月27日
公開日（公表日）： 2007年11月08日
要約：

【課題】膜に保持された試料の試料交換を迅速に行うことができるとともに、分解能の低下を防ぐことができ、また真空室内の汚染を防止することができる試料検査装置及び試料検査方法並びに試料検査システムを提供する。【解決手段】試料検査装置は、第1の面32aに試料20が保持される膜32と、膜32の第2の面に接する雰囲気を減圧する真空室11と、真空室11に接続され、膜32を介して試料20に一次線7を照射する一次線照射手段1と、一次線7の照射により試料20から発生する二次的信号を検出する信号検出手段4と、真空室11内において、32膜と一次線照射手段1との間の空間を仕切るための開閉バルブ14とを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

第1の面に試料が保持される膜と、該膜の第2の面に接する雰囲気を減圧する真空室と、該真空室に接続され、該膜を介して試料に一次線を照射する一次線照射手段と、一次線の照射により試料から発生する二次的信号を検出する信号検出手段と、該真空室内において、該膜と該一次線照射手段との間の空間を仕切るための開閉バルブとを備える試料検査装置。

IPC (4件)：

G01N 23/225 , H01J 37/28 , H01J 37/20 , G01N 23/203

FI (6件)：

G01N23/225 , H01J37/28 B , H01J37/20 A , H01J37/20 B , H01J37/20 Z , G01N23/203

Fターム (42件)：

2G001AA03 , 2G001AA05 , 2G001AA10 , 2G001BA05 , 2G001BA07 , 2G001BA15 , 2G001BA29 , 2G001BA30 , 2G001CA01 , 2G001CA03 , 2G001CA07 , 2G001DA02 , 2G001DA06 , 2G001GA06 , 2G001GA08 , 2G001GA16 , 2G001HA09 , 2G001HA13 , 2G001JA02 , 2G001JA12 , 2G001JA14 , 2G001KA20 , 2G001LA01 , 2G001MA02 , 2G001PA07 , 2G001PA11 , 2G001PA14 , 2G001QA01 , 2G001QA10 , 2G001RA02 , 2G001RA05 , 2G001RA10 , 2G001SA01 , 2G001SA08 , 2G001SA29 , 5C001AA01 , 5C001AA02 , 5C001AA07 , 5C001BB07 , 5C001CC04 , 5C001DD01 , 5C033UU03

引用特許：

出願人引用 (3件)

走査型電子顕微鏡を用いた非真空環境内のサンプルの検査のための装置および方法
公報種別：公表公報出願番号：特願2002-547196 出願人：エダリサーチアンドディベロップメントカンパニー,リミティド, エル-マルテクノロジーズリミティド
特開昭47-24961号公報
電子顕微鏡等の試料ホルダ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-005828 出願人：株式会社蛋白工学研究所, 日本電子株式会社

審査官引用 (10件)

サンプルを含む流体のSEM検査のための方法
公報種別：公表公報出願番号：特願2004-511867 出願人：クアントミックス・リミテッド
湿った環境中の走査型電子顕微鏡のための低圧チャンバー
公報種別：公表公報出願番号：特願2004-511866 出願人：イェダ・リサーチ・アンド・ディヴェロプメント・カンパニー・リミテッド
特開昭48-047394

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