特許
J-GLOBAL ID：200903084203367770
反射防止コーティング用組成物
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
池浦 敏明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-131096
公開番号（公開出願番号）：特開平8-305032
出願日： 1995年05月01日
公開日（公表日）： 1996年11月22日
要約：
【要約】【目的】 フォトレジスト膜上に良質の干渉防止膜を形成するための反射防止コーティング用組成物を提供する。【構成】 パーフロロアルキルカルボン酸と、有機アミンと、ポリビニルピロリドンと水とを含有する反射防止コーティング用組成物。この組成物の使用によれば、難溶化層形成が低減され、及び屈折率の低い干渉防止膜が形成できる。
請求項（抜粋）：
パーフロロアルキルカルボン酸、有機アミン、ポリビニルピロリドン及び水を含有することを特徴とする反射防止コーティング用組成物。
IPC (2件)：
G03F 7/11 503
, H01L 21/027
G03F 7/11 503
, H01L 21/30 574
