半導体薄膜、及びその製造方法、並びに薄膜トランジスタ、アクティブマトリックス駆動表示パネル

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡辺喜平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-334501
公開番号（公開出願番号）：特開2007-142195
出願日： 2005年11月18日
公開日（公表日）： 2007年06月07日
要約：

【課題】比較的低温で作製でき、屈曲性のある樹脂基板上にも形成可能な半導体薄膜であって、可視光に対して安定で、かつ、トランジスタ特性などの素子特性が高く、表示装置を駆動するスイッチング素子として用いた際に、画素部と重なっても表示パネルの輝度を低下させない半導体薄膜、及びそのような半導体薄膜の製造方法、並びにそのような半導体薄膜を用いた、電界効果移動度とon-off比が高いとともに、漏れ電流の発生などの照射光による影響を小さくして、素子特性を向上させた薄膜トランジスタ、そのような薄膜トランジスタを適用したアクティブマトリックス駆動表示パネルを提供する。【解決手段】キャリア密度が10+17cm-3以下、ホール移動度が2cm2/V・sec以上、エネルギーバンドギャップが2.4EV以上となるように、酸化亜鉛と酸化インジウムを含有する非晶質膜を成膜した後に、酸化処理して透明半導体薄膜40を形成する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

酸化亜鉛と酸化インジウムを含有する非晶質膜からなる半導体薄膜であって、キャリア密度が10+17cm-3以下、ホール移動度が2cm2/V・sec以上、エネルギーバンドギャップが2.4eV以上であることを特徴とする半導体薄膜。

IPC (5件)：

H01L 29/786 , H01L 29/24 , H01L 21/336 , H01L 21/363 , G02F 1/136

FI (6件)：

H01L29/78 618B , H01L29/24 , H01L29/78 618Z , H01L29/78 618A , H01L21/363 , G02F1/136

Fターム (50件)：

2H092JA24 , 2H092JA28 , 2H092JA37 , 2H092JA41 , 2H092KA05 , 2H092MA05 , 2H092MA27 , 2H092NA21 , 2H092PA01 , 5F103AA08 , 5F103DD30 , 5F103LL13 , 5F103PP03 , 5F103PP20 , 5F110AA01 , 5F110AA06 , 5F110AA17 , 5F110AA28 , 5F110BB01 , 5F110BB05 , 5F110CC05 , 5F110DD01 , 5F110DD02 , 5F110EE02 , 5F110EE03 , 5F110EE04 , 5F110EE06 , 5F110EE07 , 5F110EE14 , 5F110FF01 , 5F110FF02 , 5F110FF03 , 5F110FF09 , 5F110GG01 , 5F110GG06 , 5F110GG14 , 5F110GG15 , 5F110GG28 , 5F110GG29 , 5F110GG34 , 5F110GG42 , 5F110GG43 , 5F110GG44 , 5F110GG58 , 5F110HK02 , 5F110HK03 , 5F110HK04 , 5F110HK06 , 5F110HK07 , 5F110HK21

引用特許：

出願人引用 (2件)

薄膜トランジスタおよびマトリクス表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-274333 出願人：川崎雅司, 大野英男, シャープ株式会社
半導体装置およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-059905 出願人：シャープ株式会社, 川崎雅司, 大野英男

審査官引用 (5件)

半導体パターンの形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-157495 出願人：旭化成株式会社
トランジスタ及び半導体装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-000047 出願人：科学技術振興事業団
半導体装置及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-018243 出願人：三洋電機株式会社

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引用文献：

審査官引用 (2件)

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