特許
J-GLOBAL ID：200903084655266768
プラズマ発生装置およびプラズマ発生方法
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (11件)：
前田 弘
, 竹内 宏
, 嶋田 高久
, 竹内 祐二
, 今江 克実
, 藤田 篤史
, 二宮 克也
, 原田 智雄
, 井関 勝守
, 関 啓
, 杉浦 靖也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-080112
公開番号（公開出願番号）：特開2008-243481
出願日： 2007年03月26日
公開日（公表日）： 2008年10月09日
要約：
【課題】電極から離れたところに確実にかつ簡便にプラズマを発生させる装置及び方法を提供する。【解決手段】枝分かれした枝管11を有する細管10の一方の開口部に第1の電極30の先端を差し込み、細管10の他方の開口部はジョイント部70を介してガス流発生部材80と連結する。ガス流発生部材80からは細管10内にガスが吹き込まれて細管10内にガス流を発生させており、ガス流は第1の電極30にまで達している。細管10の下には第2の電極20が置かれており、第1の電極30に電源40により交流電圧またはパルス電圧が印加される。これにより、第1の電極30の先端にプラズマが発生し、そのプラズマはガス流の上流方向に遡っていき、細管10内にプラズマが生成する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
絶縁体または誘電体により被覆された導電性部材を備えた第1の電極と、
前記第1の電極に交流電圧またはパルス電圧を印加する電源と、
ガスを吹き出してガス流を発生させるガス流発生部材と
を備え、
前記第1の電極の少なくとも一部は、前記ガス流の中に置かれており、
前記第1の電極には交流電圧またはパルス電圧が印加され、
前記ガス流が前記第1の電極に接した部分から、該ガス流の上流に向かってプラズマを発生させる、プラズマ発生装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (12件)：
4G075AA22
, 4G075AA24
, 4G075BB10
, 4G075BC06
, 4G075CA62
, 4G075DA02
, 4G075EB21
, 4G075EB41
, 4G075FA01
, 4G075FB20
, 4G075FC11
, 4G075FC15
出願人引用 (5件)
全件表示
審査官引用 (5件)
-
表面処理方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願2000-355619
出願人：コニカ株式会社
-
特開昭62-143939
-
特開昭62-143939
全件表示
前のページに戻る
