特許

J-GLOBAL ID：200903084844016373

炭素終端構造のダイヤモンド電子源及びその製造方法

発明者： 山田 貴壽 ,  ネーベル クリストフ ,  鹿田 真一
出願人/特許権者： 独立行政法人産業技術総合研究所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-159249
公開番号（公開出願番号）：特開2007-042604
出願日： 2006年06月08日
公開日（公表日）： 2007年02月15日
要約：

【課題】 本発明は、低電圧動作可能な冷陰極表面構造に利用できる安定で優れた電子放出特性を示すダイヤモンド電子源及びその製造方法を提供する。【解決手段】 電極とダイヤモンド膜から構成される構造を持ち、電極に電圧が印加されたとき、ダイヤモンド膜から電子や電子線を放出する電子源において、ダイヤモンド膜が炭素終端構造のダイヤモンドであることを特徴とする炭素終端構造のダイヤモンド電子源及びその製造方法。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

電極とダイヤモンド膜を設けた基板からなり、電極に電圧が印加されたとき、ダイヤモンド膜から電子線を放出する電子源において、ダイヤモンド膜が炭素終端構造のダイヤモンドであることを特徴とする炭素終端構造のダイヤモンド電子源。

IPC (2件)：

H01J 1/304 ,  H01J 9/02

FI (2件)：

H01J1/30 F ,  H01J9/02 B

Fターム (23件)：

5C127AA01 ,  5C127AA11 ,  5C127AA20 ,  5C127BA05 ,  5C127BA15 ,  5C127BB06 ,  5C127CC03 ,  5C127DD08 ,  5C127DD54 ,  5C127DD62 ,  5C127EE02 ,  5C127EE03 ,  5C127EE06 ,  5C127EE07 ,  5C135AA05 ,  5C135AA15 ,  5C135AB06 ,  5C135GG03 ,  5C135GG16 ,  5C135HH02 ,  5C135HH03 ,  5C135HH06 ,  5C135HH07

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 電界放出型冷陰極装置及びその製造方法、並びに真空マイクロ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-199003   出願人：株式会社東芝
• 電極、電子放出素子及びそれを用いた装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-157826   出願人：株式会社渡邊商行, 杉野隆
• 電子放出素子用ダイヤモンド部材、その製造方法及び電子デバイス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-069368   出願人：住友電気工業株式会社

審査官引用 (4件)

• 電子放出素子および電子放出素子用エミッタの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-208045   出願人：出光マテリアル株式会社
• 特開昭63-055197
  
• 電子放出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-401174   出願人：株式会社東芝
• 電子放出素子及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-304570   出願人：株式会社東芝, 独立行政法人産業技術総合研究所, 科学技術振興事業団