特許
J-GLOBAL ID：200903084852549666
EUV光用集光器及び光源装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
須藤 政彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-123563
公開番号（公開出願番号）：特開2005-310922
出願日： 2004年04月19日
公開日（公表日）： 2005年11月04日
要約：
【課題】大出力EUV光源装置に用いる高集光率で、寿命の長いEUV光用集光器等を提供する。【解決手段】最外側に配置された第1のミラー2と、第1のミラー2と同一軸上に、焦点位置が略一致するように回転中心軸を重ねて配置した回転楕円体からなる第2のミラー3から構成されている。第2のミラー3のEUV光出射側端部3aには、スパイダーと呼ばれるミラーの固定用部材4が配置されている。第1のミラー2のEUV光出射端部2a側には冷却体23が形成され、流入用パイプ7a、排出用パイプ7bとが設けられている。第2のミラーの中央裏面の入射側よりに冷却体22が形成され、流入用パイプ6a、排出用パイプ6bとが設けられている。放電プラズマによるEUV光放射源S1から放射され集光点S2までの光路を仮想線P1、P2、P3、P4で示している。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
同一軸上に、焦点位置が略一致するように回転中心軸を重ねて配置した、径の異なる、複数の回転曲面体によって構成された複数の斜入射型ミラーからなる、EUV光用集光器において、前記複数の斜入射型ミラーの外壁の所定の位置に設けられた冷却体を有することを特徴とするEUV光用集光器。
IPC (4件)：
H01L21/027
, G03F7/20
, G21K1/06
, H05G2/00
H01L21/30 531S
, G03F7/20 503
, G21K1/06 B
, G21K1/06 P
, H05G1/00 K
2H097CA15
, 2H097LA10
, 4C092AA04
, 4C092AB19
, 4C092AB21
, 4C092AC09
, 4C092BD11
, 4C092BD17
, 5F046GC05
出願人引用 (1件)
審査官引用 (6件)
全件表示
前のページに戻る
