特許
J-GLOBAL ID：200903084884777199
液晶表示素子の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-168361
公開番号（公開出願番号）：特開平11-014954
出願日： 1997年06月25日
公開日（公表日）： 1999年01月22日
要約：
【要約】【課題】短時間で広範囲のスペーサ粒子散布密度とスペーサ粒子凝集を検出し、その検査結果に基づきスペーサ粒子散布量の調整およびスペーサ粒子散布装置の清掃タイミングを図ることにより、製造コストを押える。【解決手段】スペーサ粒子検出装置100でスペーサ粒子の凝集および散布密度を基板全面にわたって高速で検出する。凝集発生状況を監視することによりスペーサ粒子散布装置の清掃タイミングを図ってクリーニング処理を行う。
請求項（抜粋）：
2枚の基板の間に液晶を挟み込んだ構造で2枚の基板の間隔を一定にするためにスペーサ粒子を用いる液晶表示素子の製造方法において、重ね合わせる2枚の基板の一方または両方にスペーサ粒子を散布後に、スペーサ粒子からの散乱光を検出する散乱光検出手段と、検出範囲内における輝度の不均一性を補正する輝度補正手段と、検出輝度からスペーサ粒子凝集部分を検出するスペーサ凝集検出手段と、検出輝度からスペーサ粒子数を求めるスペーサ粒子数検出手段と、スペーサ粒子数に応じた信号を出力する信号発生手段と、信号に応じてスペーサ粒子散布量を調整する散布量調整手段と、基板にスペーサ粒子を散布するためのスペーサ粒子散布手段を用い、前記スペーサ凝集検出手段により基板上のスペーサ粒子凝集を検出し、スペーサ粒子凝集数が一定の基準を超えたとき前記スペーサ粒子散布手段を清掃することによりスペーサ粒子散布手段内のスペーサ粒子付着状況を管理するとともに、前記スペーサ粒子数検出手段により基板上のスペーサ粒子散布密度を検出し、その散布密度に応じて前記散布量調整手段でスペーサ粒子散布条件を決定し、前記スペーサ粒子散布手段でスペーサ粒子を散布することによりスペーサ粒子散布量を調整することを特徴とした液晶表示素子製造方法。
IPC (3件)：
G02F 1/13 101
, G01N 15/02
, G02F 1/1339 500
G02F 1/13 101
, G01N 15/02 B
, G02F 1/1339 500
