特許
J-GLOBAL ID：200903084958241695
ポジ型感光性組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
萩野 平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-109526
公開番号（公開出願番号）：特開平11-002901
出願日： 1997年04月25日
公開日（公表日）： 1999年01月06日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、光分解効率が大きく、従って感度が高く、優れたレジストパターンが得られ、露光後加熱処理までの経時でレジストパターンの細りが生じたり、レジストパターン表面の形状がT型(T-top)を呈することなく、保存安定性にも優れたポジ型感光性組成物を提供するものである。【解決手段】 (a)活性光線または放射線の照射により、スルホン酸を発生する特定の構造の化合物、及び(b)酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度を増大させる基を有する特定の構造の繰り返し単位を含む樹脂、を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。
請求項（抜粋）：
(a)活性光線または放射線の照射により、スルホン酸を発生する下記一般式(I)で表される化合物、及び(b)酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度を増大させる基を有する下記一般式(II)及び一般式(III) で表される構造の繰り返し単位を含む樹脂、を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。【化1】式(I)中、Yは置換基を有していてもよい直鎖、分岐、環状アルキル基、置換されていてもよいアラルキル基、【化2】で表される基を示す(R1 〜R21は同一でも異なっていてもよく水素原子、置換基を有していてもよい直鎖、分岐、環状アルキル基、アルコキシ基、アシル基、アシルアミノ基、スルホニルアミノ基、アリール基、アシロキシ基、アラルキル基もしくはアルコキシカルボニル基、又はホルミル基、ニトロ基、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子、水酸基、もしくはシアノ基を示し、R1 〜R5 、R6 〜R12及びR13〜R21はそれぞれの群のうちの2つが結合して炭素及び/又はヘテロ原子からなる5〜8員環を形成していもよい)。また、Yは別のイミドスルホネート化合物の残基と結合していてもよい。Xは置換基を有していてもよい直鎖、分岐アルキレン基、置換基を有していてもよくヘテロ原子を含んでいてもよい単環又は多環環状アルキレン基、置換されていてもよい直鎖、分岐アルケニレン基、置換されていてもよくヘテロ原子を含んでいてもよい単環又は多環環状アルケニレン基、置換されていてもよいアリーレン基、置換されていてもよいアラルキレン基を示す。また、Xは別のイミドスルホネート残基と結合していてもよい。【化3】式(II)中、R22は水素原子、置換されていてもよい直鎖、分岐、環状アルキル基又は置換されていてもよいアラルキル基を表す。Aは、置換されていてもよい直鎖、分岐、環状アルキル基、又は置換されていてもよいアラルキル基を表す。また、AとR22が結合して5〜6員環を形成してもよい。
IPC (5件)：
G03F 7/039 601
, G03F 7/00 503
, G03F 7/004 501
, G03F 7/004 503
, H01L 21/027
G03F 7/039 601
, G03F 7/00 503
, G03F 7/004 501
, G03F 7/004 503 A
, H01L 21/30 502 R
