光学式振動センサ及び光学式振動評価方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：橋爪健
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-098141
公開番号（公開出願番号）：特開2000-292433
出願日： 1999年04月05日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
要約：

【要約】【目的】経時変化を極めて少なくし、振動体の振動方向と光ファイバが直交配置する。【構成】光ファイバ12を通ってきたレーザ光は、光導波路2を通り、回折格子の光学レンズ3で、その面に垂直又は略垂直に出射し、カンチレバ5の第1の光反射面4で反射し、再び、光学レンズ3に戻り、光導波路2を経て、光ファイバ12に戻ってゆく。被検出振動体が振動すると、これに接着固定してあるセンシング部のカンチレバ5も振動するので、この振動に応じて、カンチレバ5の第1の光反射面4で反射して光学レンズ3に再入射する光の結合量が変化する。光学レンズ3の端面で反射して光ファイバ12に戻ってゆく光等は、ほぼ被検出振動体の振動とは無関係なので、この戻り光を基準光として利用する。

請求項（抜粋）：

第1の光反射面を有する振動部と、前記振動部を形成した第1の基板と、光学レンズを有する光導波路と、前記第1の基板と略平行に配置され、前記光導波路が形成される第2の基板とを備え、前記第1の基板と前記第2の基板とは、少なくとも無振動時には前記光導波路から光学レンズを通過して出射した光が、前記振動部の第1の光反射面で反射して、光学レンズに再入射して前記光導波路に戻るように、固定配置されて一体化されており、前記振動部の第1の光反射面から前記光導波路に戻る光の強度変化により、振動を計測するようにした光学式振動センサ。

引用特許：

審査官引用 (16件)

光振動センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-038101 出願人：ジエ・ウー・セー・アルストム・テー・エ・デー・バルトー
特開平4-311839
特開平4-070506

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