特許
J-GLOBAL ID:200903085234778286

着色レジスト組成物

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 久保山 隆 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-288728
公開番号(公開出願番号):特開平9-134006
出願日: 1995年11月07日
公開日(公表日): 1997年05月20日
要約:
【要約】【課題】 光重合性モノマーの光ラジカル重合反応を利用したレジスト組成物において、大気中での露光時、酸素による重合阻害を起こさない良好な光硬化性を有する着色レジスト組成物を提供する。【解決手段】 (a)希アルカリ性水溶液からなる現像液に可溶であるバンイダーポリマー、(b)光重合性モノマー、(c)顔料、(d)光重合開始剤、および(e)溶剤を含有するレジスト組成物であって、該光重合開始剤が、300〜400nmに吸光スペクトル極大値を有し、その波長域での吸光スペクトル極大値のモル吸光係数が 10,000 以上の値を有する化合物を含有し、該化合物が、バインダーポリマーおよび光重合性モノマーの合計量に対して10重量%以上存在する着色レジスト組成物。【効果】 大気雰囲気中でレジストが使用できるため、カラーフィルター製造の工程や装置が簡略化され、カラーフィルター製造コストを低減できる。
請求項(抜粋):
(a)希アルカリ性水溶液からなる現像液に可溶であるバンイダーポリマー、(b)光重合性モノマー、(c)顔料、(d)光重合開始剤、および(e)溶剤を含有するレジスト組成物であって、該光重合開始剤が、300〜400nmに吸光スペクトル極大値を有し、その波長域での吸光スペクトル極大値のモル吸光係数が 10,000 以上の値を有する化合物を含有し、該化合物が、バインダーポリマーおよび光重合性モノマーの合計量に対して10重量%以上存在することを特徴とする着色レジスト組成物。
IPC (6件):
G03F 7/028 ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 7/004 505 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/038 505
FI (6件):
G03F 7/028 ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 7/004 505 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/038 505
引用特許:
審査官引用 (32件)
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