特許
J-GLOBAL ID：200903085682132044

透明板欠陥検査装置

発明者：
武居 利治

武居 利治 について

, 
竹村 安弘

竹村 安弘 について


出願人/特許権者：
住友大阪セメント株式会社

住友大阪セメント株式会社 について


代理人 (4件)： 宮川 貞二 ,  柴田 茂夫 ,  東野 博文 ,  内藤 忠雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-277928
公開番号（公開出願番号）：特開2005-043229
出願日： 2003年07月22日
公開日（公表日）： 2005年02月17日
要約：
【課題】 試料内部に導入した光を用いて、透明板の欠陥を暗視野で検出できる装置を提供する。【解決手段】 本発明による透明板欠陥検査装置(1)は、透明板試料(2)の表面で全反射を生じるように、透明板試料(2)の側面から光を導入する側面光導入手段(4、5)と、導入された光が透明板試料(2)の表面又は内部の欠陥又は異物により散乱される散乱光を暗視野で検出する手段(6〜8)と備える。また、側面光導入手段(4、5)として、ファイバーグレーティング素子を3重に重ねてライン状の光を形成し、これを透明板試料2の側面から導入する。 【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
透明板試料の表面で全反射を生じるように、前記透明板試料の側面から光を導入する側面光導入手段と; 前記導入された光が前記透明板試料の表面又は内部の欠陥又は異物により散乱される散乱光を暗視野で検出する手段とを備える; 透明板欠陥検査装置。
IPC (1件)：
G01N21/958
FI (1件)：
G01N21/958
Fターム (10件)：
2G051AA42 ,  2G051AB06 ,  2G051AB07 ,  2G051BA10 ,  2G051BB05 ,  2G051BB07 ,  2G051BB17 ,  2G051BC03 ,  2G051CA04 ,  2G051CB05
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 表面検査用撮影装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-329159   出願人：株式会社エム・アイ・エル, 倉敷紡績株式会社
  • 傷検査装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-276062   出願人：東洋通信機株式会社
審査官引用 (4件)
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引用文献：
審査官引用 (1件)
  • FIT2002 情報科学技術フォーラム 一般講演論文集 第2分冊, 20020913, p.329〜330

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