特許
J-GLOBAL ID：200903085911860172
レーザアシストによる加工装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
江原 省吾 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-137060
公開番号（公開出願番号）：特開平10-323773
出願日： 1997年05月27日
公開日（公表日）： 1998年12月08日
要約：
【要約】【目的】 紫外線レーザの照射によるエッチングで発生するデブリス(飛散物)が再付着することを抑制することにある。【構成】 加工対象物1の被加工面2に短波長の紫外線レーザMLを照射して被加工面2をエッチングする第1のレーザ発振器3と、紫外線レーザMLの照射部位長波長の炭酸ガスレーザALを照射して紫外線レーザMLの照射部位を含む部位を局部的に加熱する第2のレーザ発振器4と、紫外線レーザMLのメイン照射と炭酸ガスレーザALのアシスト照射を最適制御すると共に、紫外線レーザML及び炭酸ガスレーザALに対して加工対象物1を移動させるXYテーブル5を位置制御する制御器6とを具備する。
請求項（抜粋）：
加工対象物の被加工面にメインレーザを照射して前記被加工面をエッチングする第1のレーザ発振器と、前記メインレーザの照射部位にアシストレーザを照射して前記メインレーザの照射部位を含む部位を局部的に加熱する第2のレーザ発振器と、前記メインレーザの照射とアシストレーザの照射を最適制御すると共に、前記メインレーザ及びアシストレーザと加工対象物とを相対的に移動させる駆動機構を位置制御する制御器とを具備したことを特徴とするレーザアシストによる加工装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B23K 26/00 D
, B23K 26/06 C
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (6件)
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引用文献：
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