特許
J-GLOBAL ID：200903085955379676

誘導結合プラズマ着火方法

発明者：
松下 淳

松下 淳 について


出願人/特許権者：
東京応化工業株式会社

東京応化工業株式会社 について


代理人 (1件)： 小山 有
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-150714
公開番号（公開出願番号）：特開2002-343600
出願日： 2001年05月21日
公開日（公表日）： 2002年11月29日
要約：
【要約】【課題】 絶縁破壊によるリークを生じず、また、プラズマによって被処理物がチャージアップダメージを被ることのない誘導結合プラズマ着火方法を提供する。【解決手段】 高周波出力、反応ガス流量およびチャンバー内圧力が共に低い状態で低エネルギー・低密度のプラズマを着火させ、プラズマ着火確認後に、高周波出力、反応ガス流量およびチャンバー内圧力を共に漸次増加させ、最終的に被処理物を処理できる低エネルギー・高密度のプラズマを発生させる。
請求項（抜粋）：
高周波出力、反応ガス流量およびチャンバー内圧力が共に低い状態で低エネルギー・低密度のプラズマを着火させ、プラズマ着火確認後に、高周波出力、反応ガス流量およびチャンバー内圧力を共に漸次増加させ、最終的に被処理物を処理できる低エネルギー・高密度のプラズマを発生させることを特徴とする誘導結合プラズマ着火方法。
IPC (8件)：
H05H 1/46 ,  B01J 19/08 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/265 ,  H01L 21/3065 ,  H05H 1/00 ,  C23C 14/48 ,  C23C 16/507
FI (8件)：
H05H 1/46 L ,  B01J 19/08 H ,  H01L 21/205 ,  H05H 1/00 A ,  C23C 14/48 Z ,  C23C 16/507 ,  H01L 21/265 F ,  H01L 21/302 A
Fターム (36件)：
4G075AA24 ,  4G075AA30 ,  4G075AA61 ,  4G075AA65 ,  4G075BC04 ,  4G075BC06 ,  4G075BC08 ,  4G075BC10 ,  4G075CA47 ,  4G075DA18 ,  4K029AA06 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029DE01 ,  4K029EA00 ,  4K029EA03 ,  4K029EA04 ,  4K029EA09 ,  4K030CA04 ,  4K030CA06 ,  4K030CA12 ,  4K030FA04 ,  4K030JA05 ,  4K030JA09 ,  4K030JA11 ,  4K030KA39 ,  5F004AA16 ,  5F004BA20 ,  5F004CA02 ,  5F004CA03 ,  5F004CA07 ,  5F004CB01 ,  5F045EE17 ,  5F045EH11 ,  5F045EH19 ,  5F045GB08
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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