特許
J-GLOBAL ID：200903086011897670
導電性ボールの搭載方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-158353
公開番号（公開出願番号）：特開平11-000836
出願日： 1997年06月16日
公開日（公表日）： 1999年01月06日
要約：
【要約】【課題】 吸着ヘッドの下面に真空吸着された導電性ボールを、確実にワークのパッド上に搭載できる導電性ボールの搭載方法を提供すること。【解決手段】 吸着ヘッド21は吸着孔23に導電性ボール1を真空吸着し、ワーク11のパッド12に搭載する。吸着ヘッド21の内部の空間22は、第1の弁25を介して吸引部24に接続され、また第2の弁29を介して高圧空気供給部28に接続される。また空間22には真空破壊用の第3の弁30と第4の弁31が接続されている。吸着ヘッド21を下降させて導電性ボール1をパッド12上に着地させ、次いで吸着ヘッド21が上昇するときに、第2の弁29の開閉と、第3の弁30およびまたは第4の弁31の開閉を複数回組み合わせて行うことにより、空間22の圧力を脈動させる。これにより導電性ボール1は吸着孔23から確実に離れてパッド12に搭載される。
請求項（抜粋）：
吸着ヘッドの内部を真空吸引することにより供給部に備えられた導電性ボールを吸着ヘッドの下面に開孔された吸着孔に真空吸着してピックアップした後、位置決め部に位置決めされたワークに対して吸着ヘッドに下降・上昇動作を行なわせて、ワークのパッド上に導電性ボールを搭載する導電性ボールの搭載方法であって、導電性ボールを前記ワークのパッド上に搭載するときには、前記吸着ヘッドの内部に正圧を付与して真空状態を破壊するとともに、吸着ヘッドの内部の圧力を脈動させて導電性ボールを吸着孔から脱落させることを特徴とする導電性ボールの搭載方法。
IPC (3件)：
B23P 21/00 305
, B23Q 3/08
, H01L 21/60 311
B23P 21/00 305 B
, B23Q 3/08 A
, H01L 21/60 311 S
