圧電薄膜共振器、弾性波デバイスおよび弾性波デバイスの製造方法。

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：片山修平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-003357
公開番号（公開出願番号）：特開2008-172494
出願日： 2007年01月11日
公開日（公表日）： 2008年07月24日
要約：

【課題】短い製造工程で同一基板上に形成可能なそれぞれ異なる共振周波数を有する複数の圧電薄膜共振器からなる弾性波デバイスおよび弾性波デバイスの製造方法を提供すること。【解決手段】本発明は、基板11と、基板11上に設けられた下部電極10と、下部電極10上に設けられた圧電膜12と、圧電膜12を挟み下部電極10と対向する共振部16を有するように圧電膜12上に設けられた上部電極14と、上部電極14上に設けられた質量負荷膜18と、を有し、質量負荷膜18は共振部16に設けられ、質量負荷膜18の面積は共振部16の面積より小さい圧電薄膜共振器を具備する弾性波デバイスである。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

基板上に設けられた下部電極と、前記下部電極上に設けられた圧電膜と、前記圧電膜を挟み前記下部電極と対向する共振部を有するように前記圧電膜上に設けられた上部電極と、前記上部電極上に設けられた質量負荷膜と、を具備し、前記質量負荷膜は前記共振部内に設けられ、前記質量負荷膜の面積が前記共振部の面積より小さいことを特徴とする圧電薄膜共振器。

IPC (8件)：

H03H 9/17 , H03H 9/54 , H03H 3/02 , H03H 3/04 , H01L 41/09 , H01L 41/22 , H01L 41/18 , H01L 41/24

FI (11件)：

H03H9/17 F , H03H9/54 Z , H03H3/02 B , H03H3/04 B , H01L41/08 C , H01L41/22 Z , H01L41/18 101Z , H01L41/22 A , H01L41/08 L , H01L41/08 K , H01L41/08 J

Fターム (20件)：

5J108AA07 , 5J108BB07 , 5J108BB08 , 5J108CC04 , 5J108CC11 , 5J108DD01 , 5J108DD06 , 5J108EE04 , 5J108EE05 , 5J108EE06 , 5J108HH04 , 5J108JJ01 , 5J108KK01 , 5J108KK02 , 5J108KK05 , 5J108MM08 , 5J108MM11 , 5J108MM14 , 5J108NA02 , 5J108NB03

引用特許：

出願人引用 (5件)

共振子、フィルタおよび共振子の製造
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-101878 出願人：富士通メディアデバイス株式会社, 富士通株式会社
共振器の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-057361 出願人：アジレント・テクノロジーズ・インク
共振器の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-057362 出願人：アジレント・テクノロジーズ・インク

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審査官引用 (3件)

薄膜圧電振動子
公報種別：公表公報出願番号：特願2000-548952 出願人：インフィネオンテクノロジースアクチエンゲゼルシャフト
特開平3-001710
特開平3-001710

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