特許
J-GLOBAL ID：200903086134060090
炭素薄膜ならびにそれを用いた電界放出電子源および作用電極
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
奥田 誠司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-290291
公開番号（公開出願番号）：特開2005-060146
出願日： 2003年08月08日
公開日（公表日）： 2005年03月10日
要約：
【課題】FEDの電子源やバイオチップの作用電極に用いることのできる活性の高い炭素薄膜およびその製造方法を提供する。【解決手段】陽極酸化によって形成したアルミナ2表面上に炭素を含む原料ガスを分解することにより、グラフェン1aを含む炭素薄膜1を形成する。炭素薄膜1の主表面1Sにおいてグラフェン1aの端部1Eは露出している。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
グラフェンを含む炭素薄膜であって、
前記炭素薄膜の主表面において前記グラフェンの端部が露出している炭素薄膜。
IPC (4件)：
C01B31/02
, C23C16/26
, H01J1/304
, H01J9/02
C01B31/02 101Z
, C01B31/02 101F
, C23C16/26
, H01J9/02 B
, H01J1/30 F
4G146AA01
, 4G146AA02
, 4G146AA19
, 4G146AB07
, 4G146AC16B
, 4G146AC19B
, 4G146AD05
, 4G146AD23
, 4G146AD29
, 4G146AD32
, 4G146BA12
, 4G146BA48
, 4G146BC08
, 4K030AA09
, 4K030BA27
, 4K030CA06
, 4K030FA10
, 5C127AA01
, 5C127BA09
, 5C127BA15
, 5C127BB08
, 5C127CC03
, 5C127DD08
, 5C135AA09
, 5C135AA15
, 5C135AB08
, 5C135HH02
, 5C135HH06
出願人引用 (1件)
審査官引用 (5件)
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