特許
J-GLOBAL ID：200903086558845268

極低温冷却装置

発明者：
李 瑞

李 瑞 について

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幾島 悠喜

幾島 悠喜 について

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春山 富義

春山 富義 について

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鈴木 敏一

鈴木 敏一 について

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都丸 隆行

都丸 隆行 について

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新冨 孝和

新冨 孝和 について


出願人/特許権者：
住友重機械工業株式会社

住友重機械工業株式会社 について

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大学共同利用機関法人 高エネルギー加速器研究機構

大学共同利用機関法人 高エネルギー加速器研究機構 について


代理人 (3件)： 高矢 諭 ,  牧野 剛博 ,  松山 圭佑
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-286396
公開番号（公開出願番号）：特開2009-052881
出願日： 2008年11月07日
公開日（公表日）： 2009年03月12日
要約：
【課題】冷凍機に起因する振動が、クライオスタット全体や被冷却体に伝わるのを防止する。【解決手段】冷凍機10のコールドヘッド18が固定され、その荷重を支持する、クライオスタット30とは別に設けられ、且つ真空容器ではないサポートステージ50と、該サポートステージ50の内側に配置される該クライオスタット30と、該クライオスタット30で支持され、被冷却体8の荷重を吊持する低振動ステージ41、42と、を備えている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
冷凍機を用いて冷却されるクライオスタットを備えた極低温冷却装置において、 冷凍機のコールドヘッドが固定され、その荷重を支持する、クライオスタットとは別に設けられ、且つ真空容器ではないサポートステージと、 該サポートステージの内側に配置される該クライオスタットと、 該クライオスタットで支持され、被冷却体の荷重を吊持する低振動ステージと、 を備えたことを特徴とする極低温冷却装置。
IPC (1件)：
F25B 9/00
FI (2件)：
F25B9/00 Z ,  F25B9/00 H
引用特許：
出願人引用 (15件)
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審査官引用 (15件)
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