特許
J-GLOBAL ID：200903086720624378

静圧気体軸受を有したエアスライド装置

発明者：
下田 郁夫

下田 郁夫 について

, 
小澤 秀夫

小澤 秀夫 について


出願人/特許権者：
オイレス工業株式会社

オイレス工業株式会社 について


代理人 (1件)： 高田 武志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-146098
公開番号（公開出願番号）：特開2006-322531
出願日： 2005年05月18日
公開日（公表日）： 2006年11月30日
要約：
【課題】 可動台の上下方向の自励振動を効果的に抑えることができると共に可動台の走行方向の振動を低減できて短時間で可動台の位置決め停止を行い得、しかも、静圧気体軸受の利点を生かし得るエアスライド装置を提供すること。【解決手段】 エアスライド装置1は、可動台2と、可動台2の走行を案内する案内基台3と、案内基台3と可動台2との間に空気層4を形成して案内基台3に対して可動台2を空気層4を介して可動に支持する静圧気体軸受5と、案内基台3により案内されて走行する可動台2を制動する制動手段6とを具備しており、制動手段6は、可動台2に設けられた磁界発生手段31と、磁界発生手段31により発生された磁界により渦電流を生じるように案内基台3に設けられた導体手段32とを具備している。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
可動台と、この可動台が設けられていると共に可動台の走行を案内する案内基台と、この案内基台と可動台との間に空気層を形成して案内基台に対して可動台を空気層を介して可動に支持する静圧気体軸受と、案内基台により案内されて走行する可動台を制動する制動手段とを具備しており、この制動手段は、可動台と案内基台との少なくとも一方に設けられた磁界発生手段と、この磁界発生手段により発生された磁界により渦電流を生じるように可動台と案内基台との少なくとも他方に設けられた導体手段とを具備しているエアスライド装置。
IPC (1件)：
F16C 32/06
FI (2件)：
F16C32/06 A ,  F16C32/06 B
Fターム (10件)：
3J102AA02 ,  3J102BA05 ,  3J102CA02 ,  3J102EA02 ,  3J102EA07 ,  3J102EA18 ,  3J102FA08 ,  3J102FA09 ,  3J102GA01 ,  3J102GA07
引用特許：
出願人引用 (4件)
  • X-Yステージ装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-391043   出願人：住友重機械工業株式会社
  • エアスライド装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-097659   出願人：エヌティエヌ株式会社
  • テーブル装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-175237   出願人：株式会社ミツトヨ
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審査官引用 (7件)
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