特許
J-GLOBAL ID：200903086760244560
フッ素原子含有ヘミアセタールエステル構造を有する重合性単量体、及び高分子化合物
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
後藤 幸久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-118345
公開番号（公開出願番号）：特開2008-274070
出願日： 2007年04月27日
公開日（公表日）： 2008年11月13日
要約：
【課題】フォトレジスト用重合性単量体を提供する。【解決手段】下記式(1)(式中、Raは水素原子又はメチル基を示す。Rbはフッ素原子で置換された脂肪族若しくは脂環式炭化水素基、又は脂肪族若しくは脂環式炭化水素基の複数個(少なくとも1つはフッ素原子で置換された脂肪族若しくは脂環式炭化水素基である)がヘテロ原子を含む連結基を介して結合した基を示す。)で表される重合性単量体。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
下記式(1)
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (26件)：
4H006AA01
, 4H006AB46
, 4H006BP10
, 4H006KA11
, 4H006KC14
, 4J100AL08P
, 4J100AL08Q
, 4J100AL08R
, 4J100BA02P
, 4J100BA03R
, 4J100BA04P
, 4J100BA10Q
, 4J100BA10R
, 4J100BA11Q
, 4J100BA16Q
, 4J100BA16R
, 4J100BB07P
, 4J100BB11P
, 4J100BB18P
, 4J100BC09Q
, 4J100BC09R
, 4J100BC53Q
, 4J100BC58Q
, 4J100CA03
, 4J100CA05
, 4J100JA38
出願人引用 (3件)
審査官引用 (6件)
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