特許
J-GLOBAL ID：200903086872765740

磁界測定装置

発明者：
宮本 晶規

宮本 晶規 について


出願人/特許権者：
富士通株式会社

富士通株式会社 について


代理人 (1件)： 平戸 哲夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-065854
公開番号（公開出願番号）：特開2001-255258
出願日： 2000年03月10日
公開日（公表日）： 2001年09月21日
要約：
【要約】【課題】走査型プローブ顕微鏡の技術を応用し、試料の表面付近の局所的な磁界を測定する磁界測定装置に関し、カンチレバーの自由端に設けた磁性体チップの磁化変調を簡単な構成で行う。【解決手段】磁性体チップ6に対して径が十分に大きいコイル8をプローブ3の外部に設け、このコイル8により磁性体チップ6に空間変化の小さい交流磁界を与えて磁性体チップ6を磁化変調し、試料1からの磁界により磁性体チップ6が受ける磁気力を周期的に変化させてカンチレバー4の自由端を振動させ、カンチレバー4の振動を撓み検出器10で検出し、撓み検出器10の出力信号の中から交流磁界に同期した成分をロックイン検出器11で検出することにより、試料1の表面近傍の局所的な磁界を測定する。
請求項（抜粋）：
カンチレバーの自由端に磁化変調可能な磁性体チップを有し、試料に対する位置を相対的に可変可能とされたプローブと、前記プローブの外部に配置され、前記試料の表面近傍に配置させた前記磁性体チップに空間変化の小さい交流磁界を与えるコイルと、前記コイルに交流電流を供給して前記交流磁界を発生させる交流電源を有していることを特徴とする磁界測定装置。
IPC (4件)：
G01N 13/22 ,  G01N 27/72 ,  G01R 33/12 ,  G11B 5/84
FI (4件)：
G01N 13/22 B ,  G01N 27/72 ,  G01R 33/12 Z ,  G11B 5/84 C
Fターム (19件)：
2G017AA02 ,  2G017AB01 ,  2G017AC08 ,  2G017AD04 ,  2G017CA00 ,  2G017CB15 ,  2G017CB26 ,  2G017CC02 ,  2G053AA30 ,  2G053AB15 ,  2G053BA15 ,  2G053BB05 ,  2G053BC02 ,  2G053BC03 ,  2G053BC14 ,  2G053DA01 ,  2G053DB23 ,  5D112JJ03 ,  5D112JJ07
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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