振動型角速度センサ

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-355277
公開番号（公開出願番号）：特開2000-180176
出願日： 1998年12月15日
公開日（公表日）： 2000年06月30日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】振動型角速度センサを構成する質量部が変位の際に受ける空気抵抗の低減、検出感度の向上、かつ小型化。【解決手段】基板10上に、質量部11と、質量部11を支持する梁14と、質量部11を駆動する駆動用電極15、16と、駆動された状態の質量部11が角速度により変位し、その変位量を検出する検出部11f、26を備えた振動型角速度センサ1において、質量部11は、基板10の中央部に配され、かつ梁14は質量部11の上、下部から水平に延在し、さらに基板10の中央部方向へ折曲がったL字形状に形成する。

請求項（抜粋）：

基板上に、質量部と、前記質量部を支持する梁と、前記質量部を駆動する駆動用電極と、駆動された状態の前記質量部が角速度により変位し、その変位量を検出する検出部を備えた振動型角速度センサにおいて、前記質量部は、前記基板の中央部に配され、かつ前記梁は前記質量部の上、下部から水平に延在し、さらに基板の中央部方向へ折曲がったL字形状に形成したことを特徴とする振動型角速度センサ。

IPC (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

FI (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

Fターム (8件)：

2F105BB02 , 2F105BB13 , 2F105BB20 , 2F105CC04 , 2F105CD03 , 2F105CD05 , 2F105CD13 , 2F105CD20

引用特許：

審査官引用 (6件)

半導体慣性センサの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-060821 出願人：三菱マテリアル株式会社
振動型ジャイロ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-022523 出願人：株式会社村田製作所
角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-340439 出願人：株式会社村田製作所

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