特許
J-GLOBAL ID：200903086964881003

剥離剤組成物および剥離方法

発明者：
青木 秀充

青木 秀充 について

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中別府 健一

中別府 健一 について

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小糸 達也

小糸 達也 について


出願人/特許権者：
日本電気株式会社

日本電気株式会社 について


代理人 (1件)： 金田 暢之 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-015601
公開番号（公開出願番号）：特開2001-209191
出願日： 2000年01月25日
公開日（公表日）： 2001年08月03日
要約：
【要約】【課題】銅等の腐食しやすい金属の腐食を防止しつつレジスト膜やエッチング残渣を効果的に剥離除去することができ、かつ、生分解処理の可能な剥離剤組成物を提供すること。【解決手段】(a)尿素または尿素誘導体、および(b)ヒドロキシ芳香族類を必須成分とする防食剤を含有することを特徴とする剥離剤組成物。
請求項（抜粋）：
(a)尿素または尿素誘導体、および(b)ヒドロキシ芳香族類を必須成分とする防食剤を含有することを特徴とする剥離剤組成物。
IPC (2件)：
G03F 7/42 ,  H01L 21/027
FI (2件)：
G03F 7/42 ,  H01L 21/30 572 B
Fターム (7件)：
2H096AA00 ,  2H096AA25 ,  2H096CA05 ,  2H096HA23 ,  2H096LA02 ,  2H096LA03 ,  5F046MA02
引用特許：
審査官引用 (6件)
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