プラズマ処理用の大規模な誘導プラズマを発生させる方法及び装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東忠彦 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-521032
公開番号（公開出願番号）：特表2000-510643
出願日： 1998年10月07日
公開日（公表日）： 2000年08月15日
要約：

【要約】装置(12)は、誘導結合によりチャンバー内でプラズマを発生させ若しくは持続させるプラズマ処理チャンバー(10)のフィールドアドミッション窓(22)を通して時間変化磁界を発生する。前記装置は、窓に対して若しくは窓に近接して適用されるようにされた単磁極面構造(26a、260a)を有し、大きさ及び形がフィールドアドミッション窓に実質的に適合する活性フィールド放出領域を有する磁気コア(26;260)と、全単磁極面構造にわたって実質的に均一に分布した時間変化磁界を発生させる磁気コアと関連するインダクタ手段(28)とから成る。前記装置は、プラズマ処理チャンバーの欠かせない部分として形成される。さらに本発明は、例えば時間変化磁界発生装置と協力するための二つ以上のフィールドアドミッション窓を有するプラズマ処理チャンバーにも関する。

請求項（抜粋）：

誘導結合によりチャンバー内でプラズマを発生させ若しくは持続させるプラズマ処理チャンバー(10)のフィールドアドミッション窓(22)を通して時間変化磁界を発生させる装置(12)であって、窓に対して若しくは窓に近接して適用されるようにされた単磁極面構造(26a;260a)を有し、大きさ及び形が実質的にフィールドアドミッション窓に適合する活性フィールド放出領域を有する磁気コア(26;260)と、全単磁極面構造にわたって実質的に均一に分布した時間変化磁界を発生される磁気コアと関連するインダクタ手段(28)とから成ることを特徴とする装置。

IPC (5件)：

H05H 1/46 , H01J 37/32 , H01L 21/205 , H01L 21/3065 , H01L 21/31

FI (6件)：

H05H 1/46 A , H01J 37/32 , H01L 21/205 , H01L 21/31 C , H05H 1/46 M , H01L 21/302 B

引用特許：

審査官引用 (11件)

特開昭63-244619
特開平4-362091
プラズマ発生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-107693 出願人：月島機械株式会社

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