特許
J-GLOBAL ID:200903087381670019
磁気検出素子およびその形成方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
三反崎 泰司
, 藤島 洋一郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-193735
公開番号(公開出願番号):特開2006-019383
出願日: 2004年06月30日
公開日(公表日): 2006年01月19日
要約:
【課題】 ヒステリシスの発現を抑制して1/fノイズを低減し、信号磁界を高感度に、かつ、安定して検出することの可能な磁気検出素子を提供する。【解決手段】 一定方向(Y方向)に固着された磁化方向J21を有する固着層21と、外部磁界Hに応じて変化し、かつ、この外部磁界Hが零のときに磁化方向J21と平行となる磁化方向J23を示す自由層23と、固着層21と自由層23との間に挟まれた中間層22とを含む積層体20を備え、交換バイアス磁界Hinが正となるように中間層22の厚みを設定したので、磁化方向J21,J23が安定化し、磁化方向J21と直交する方向に外部磁界Hを印加した状態で読出電流を流した場合には、外部磁界Hの変化と抵抗変化Rとの関係におけるヒステリシスの発現を抑制できる。この結果、1/fノイズが抑えられ、信号磁界を高感度に、かつ安定して検出することが可能となる。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
一定方向に固着された磁化方向を有する固着層と、
外部磁界に応じて磁化方向が変化し、かつ、この外部磁界が零のときに前記磁化方向が前記固着層の磁化方向と平行となる自由層と、
前記固着層と前記自由層との間に挟まれた中間層と
を含む積層体を備え、
前記中間層は、前記固着層と前記自由層との相互間に生じる前記固着層の磁化方向における交換バイアス磁界が正となる厚みを有するように構成されている
ことを特徴とする磁気検出素子。
IPC (4件):
H01L 43/08
, G11B 5/39
, H01L 43/12
, G01R 33/09
FI (4件):
H01L43/08 Z
, G11B5/39
, H01L43/12
, G01R33/06 R
Fターム (9件):
2G017AA01
, 2G017AD55
, 2G017AD65
, 5D034BA04
, 5D034BA05
, 5D034BA12
, 5D034BA13
, 5D034CA04
, 5D034CA08
引用特許:
出願人引用 (5件)
-
米国特許第5159513号明細書
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米国特許第5206590号明細書
-
米国特許第5549978号明細書
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審査官引用 (4件)