特許
J-GLOBAL ID:200903016593716804

磁気検出素子およびその形成方法ならびに磁気センサ、電流計

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 三反崎 泰司 ,  藤島 洋一郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-045110
公開番号(公開出願番号):特開2005-236134
出願日: 2004年02月20日
公開日(公表日): 2005年09月02日
要約:
【課題】 ヒステリシスの発現を抑制して1/fノイズを低減し、信号磁界を高感度に、かつ、安定して検出することの可能な磁気検出素子を提供する。【解決手段】 一定方向(Y方向)に固着された磁化方向J21を有する固着層21と、外部磁界Hに応じて変化し、かつ、この外部磁界Hが零のときに磁化方向J21と平行となる磁化方向J23を示す自由層23と、固着層21と自由層23との間に挟まれた中間層22とを含む積層体20を設けるようにしたので、外部磁界Hが零のときに固着層21と自由層23とが互いに直交する磁化方向を示す場合と比べて自由層23における各磁区のスピン方向のばらつきを低減でき、読出電流を流した場合には、外部磁界Hの変化と抵抗変化Rとの関係におけるヒステリシスの発現を抑制できる。この結果、1/fノイズが抑えられ、信号磁界を高感度に、かつ安定して検出することが可能となる。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
一定方向に固着された磁化方向を有する固着層と、 外部磁界に応じて磁化方向が変化し、かつ、この外部磁界が零のときに前記磁化方向が前記固着層の磁化方向と平行となる自由層と、 前記固着層と前記自由層との間に挟まれた中間層と を含む積層体を備えた ことを特徴とする磁気検出素子。
IPC (3件):
H01L43/08 ,  G01R15/20 ,  G01R33/09
FI (4件):
H01L43/08 Z ,  H01L43/08 B ,  G01R33/06 R ,  G01R15/02 B
Fターム (7件):
2G017AA01 ,  2G017AB07 ,  2G017AC09 ,  2G017AD55 ,  2G025AA13 ,  2G025AB01 ,  2G025AC04
引用特許:
出願人引用 (18件)
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審査官引用 (14件)
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