高速精密位置決め装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：社本一夫 (外5名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-571323
公開番号（公開出願番号）：特表2002-525858
出願日： 1999年09月13日
公開日（公表日）： 2002年08月13日
要約：

【要約】高速精密位置決め装置はプラテン(14)により支持されたステージ(102)を有する。ステージは、ステージと共面でステージのまわりに配置された複数の駆動モータ(112a、112b、112c、112d)により駆動される。駆動モータはステージと何等機械的に接触することなくステージに駆動力を直接供給する。駆動力は少なくとも3つの運動自由度で平面運動をステージに与える。残りの3つの自由度においては、ステージとプラテンとの間で作動する複数の流体軸受(144a、144b、144c、144d)により運動が拘束される。駆動モータは、ステージに取り付けられ、頂部及び底部の静止のコイル間に形成されたギャップ内で運動する磁石として形成される。一体の力相殺はステージに相殺力を供給する力相殺装置により実施される。ステージ及びこのステージと一緒に運動する任意の素子の重心と共面の相殺力はステージの平面運動により発生する力を相殺する。干渉計エンコーダを位置検出器として使用する。

請求項（抜粋）：

デバイスを位置決めする装置において、デバイスを支持するように形状づけられたステージと; 上記ステージを支持するプラテンと; 上記ステージと共面に位置し、当該ステージのまわりに配置され、該ステージと何ら機械的に接触することなく、少なくとも3つの運動の自由度で同ステージに平面運動を与える駆動力を同ステージに直接供給する複数の駆動モータと; 上記ステージと上記プラテンとの間で作動し、残りのすべての自由度において当該ステージの平面運動を拘束する複数の流体軸受と; 上記駆動モータに接続され、同駆動モータの作動を制御するようになったコントローラと;を有し、上記各駆動モータが、頂部の静止のコイルと; 底部の静止のコイルと; 上記頂部の静止のコイルと上記底部の静止のコイルとの間に形成された所定の長さのギャップ内で運動するようになった可動の磁石と;を有することを特徴とする装置。

IPC (7件)：

H01L 21/68 , G01B 11/00 , G01B 21/00 , G01S 17/06 , G05D 3/00 , G12B 5/00 , H01L 21/027

FI (8件)：

H01L 21/68 K , G01B 11/00 B , G01B 11/00 G , G01B 21/00 L , G01S 17/06 , G05D 3/00 A , G12B 5/00 T , H01L 21/30 503 A

Fターム (95件)：

2F065BB03 , 2F065FF64 , 2F065GG06 , 2F065GG12 , 2F065JJ03 , 2F065JJ05 , 2F065JJ26 , 2F065KK01 , 2F065LL04 , 2F065LL12 , 2F065LL42 , 2F065PP03 , 2F065PP12 , 2F065PP22 , 2F065PP24 , 2F065TT02 , 2F069AA03 , 2F069BB15 , 2F069CC07 , 2F069DD09 , 2F069DD15 , 2F069DD19 , 2F069DD27 , 2F069GG04 , 2F069GG07 , 2F069GG62 , 2F069GG64 , 2F069HH09 , 2F069HH14 , 2F069JJ14 , 2F069JJ25 , 2F069MM02 , 2F069MM11 , 2F069MM24 , 2F069MM34 , 2F069MM38 , 2F069PP02 , 2F069PP06 , 2F069RR01 , 2F069RR03 , 2F078CA01 , 2F078CA08 , 2F078CB05 , 2F078CB13 , 5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031HA53 , 5F031HA55 , 5F031HA57 , 5F031HA59 , 5F031JA06 , 5F031JA14 , 5F031JA17 , 5F031JA28 , 5F031JA32 , 5F031JA45 , 5F031KA06 , 5F031KA08 , 5F031KA12 , 5F031LA02 , 5F031LA08 , 5F031MA27 , 5F031PA04 , 5F046CC01 , 5F046CC03 , 5F046CC06 , 5F046CC16 , 5F046DA07 , 5F046DB05 , 5F046DB14 , 5H303AA06 , 5H303BB03 , 5H303BB08 , 5H303CC02 , 5H303CC04 , 5H303CC06 , 5H303DD04 , 5H303DD11 , 5H303FF20 , 5H303GG13 , 5H303GG20 , 5H303GG25 , 5H303HH02 , 5H303JJ05 , 5H303JJ10 , 5H303KK28 , 5H303LL02 , 5H303QQ01 , 5J084AA04 , 5J084AD08 , 5J084BA04 , 5J084BA38 , 5J084BB02 , 5J084BB11 , 5J084EA04

引用特許：

審査官引用 (9件)

ステージ装置、露光装置およびデバイス製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-318615 出願人：キヤノン株式会社
特開昭62-207165
指令値の決定方法及びステージ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-318654 出願人：株式会社ニコン

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