特許
J-GLOBAL ID：200903087486031461

固体撮像素子用カバーガラス及びその製造方法

発明者：
中堀 宏亮

中堀 宏亮 について

, 
大川 大介

大川 大介 について

, 
淀川 正弘

淀川 正弘 について


出願人/特許権者：
日本電気硝子株式会社

日本電気硝子株式会社 について


代理人 (6件)： 江原 省吾 ,  田中 秀佳 ,  白石 吉之 ,  城村 邦彦 ,  熊野 剛 ,  山根 広昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-297321
公開番号（公開出願番号）：特開2006-140458
出願日： 2005年10月12日
公開日（公表日）： 2006年06月01日
要約：
【課題】固体撮像素子の窓材用途に利用されるカバーガラスとして高い性能を実現するために、カバーガラス表面に施された薄膜が剥離し難く、高い機械的強度と、安定した化学的な性能を有する清浄度の高い固体撮像素子用カバーガラス及びその製造方法を提供する。【解決手段】本発明の固体撮像素子用カバーガラス10は、無機酸化物ガラス製の平板ガラスにおける板厚方向の表裏に第一透光面11a及び第二透光面11bを有し、第一透光面11aに薄膜20が形成されると共に、平板ガラスにおける第一透光面11a上の外縁部に位置する薄膜20の端縁22に凹凸が形成され、且つ、その凹凸は、第一透光面11aと平行な面上における最大窪み位置から最大突出位置に至るまでの突出寸法Lが0.5μmから50μmの範囲内にある。また、本発明の製造方法は、耐熱性容器内でガラス原料混合物を熔融する工程と、得られた熔融ガラスを板ガラスに成形する工程と、板ガラスに薄膜を形成する工程と、薄膜付き板ガラスを小片のガラスに分割する工程とを有する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
無機酸化物ガラス製の平板ガラスにおける板厚方向の表裏に第一透光面及び第二透光面を有し、前記第一透光面に薄膜が形成された固体撮像素子用カバーガラスであって、 前記平板ガラスにおける第一透光面上の外縁部に位置する前記薄膜の端縁に凹凸が形成されると共に、該凹凸は、前記第一透光面と平行な面上における最大窪み位置から最大突出位置に至るまでの突出寸法が0.5μmから50μmの範囲内にあることを特徴とする固体撮像素子用カバーガラス。
IPC (4件)：
H01L 27/14 ,  H01L 23/02 ,  C03C 3/091 ,  C03C 3/093
FI (5件)：
H01L27/14 D ,  H01L23/02 F ,  H01L23/02 J ,  C03C3/091 ,  C03C3/093
Fターム (89件)：
4G062AA04 ,  4G062BB05 ,  4G062DA06 ,  4G062DB02 ,  4G062DB03 ,  4G062DB04 ,  4G062DC03 ,  4G062DC04 ,  4G062DD01 ,  4G062DE01 ,  4G062DE02 ,  4G062DE03 ,  4G062DF01 ,  4G062EA01 ,  4G062EA02 ,  4G062EA03 ,  4G062EA04 ,  4G062EB01 ,  4G062EB02 ,  4G062EB03 ,  4G062EB04 ,  4G062EC01 ,  4G062EC02 ,  4G062EC03 ,  4G062EC04 ,  4G062ED01 ,  4G062ED02 ,  4G062ED03 ,  4G062ED04 ,  4G062EE01 ,  4G062EE02 ,  4G062EE03 ,  4G062EE04 ,  4G062EF01 ,  4G062EF02 ,  4G062EF03 ,  4G062EF04 ,  4G062EG01 ,  4G062EG02 ,  4G062EG03 ,  4G062EG04 ,  4G062FA01 ,  4G062FA10 ,  4G062FB01 ,  4G062FC01 ,  4G062FD01 ,  4G062FE01 ,  4G062FF01 ,  4G062FG01 ,  4G062FH01 ,  4G062FJ01 ,  4G062FK01 ,  4G062FL01 ,  4G062GA01 ,  4G062GA10 ,  4G062GB01 ,  4G062GC01 ,  4G062GD01 ,  4G062GE01 ,  4G062HH01 ,  4G062HH03 ,  4G062HH05 ,  4G062HH07 ,  4G062HH09 ,  4G062HH11 ,  4G062HH13 ,  4G062HH15 ,  4G062HH17 ,  4G062HH20 ,  4G062JJ01 ,  4G062JJ03 ,  4G062JJ05 ,  4G062JJ07 ,  4G062JJ10 ,  4G062KK01 ,  4G062KK03 ,  4G062KK05 ,  4G062KK07 ,  4G062KK10 ,  4G062MM35 ,  4G062NN16 ,  4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA13 ,  4M118BA14 ,  4M118FA06 ,  4M118GC11 ,  4M118HA02 ,  4M118HA14
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (5件)
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