特許
J-GLOBAL ID：200903087618787269

ゲートバルブ

発明者：
渡辺 和人

渡辺 和人 について

, 
勝俣 好弘

勝俣 好弘 について


出願人/特許権者：
アネルバ株式会社

アネルバ株式会社 について


代理人 (1件)： 大垣 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-033776
公開番号（公開出願番号）：特開2002-235868
出願日： 2001年02月09日
公開日（公表日）： 2002年08月23日
要約：
【要約】【課題】 弁箱の奥行き幅を増加させることなく、大型処理基板に対応できるようにする。【解決手段】 弁体24は、当該弁体に平行な回転軸のまわりに揺動運動を行うように構成されている。弁体を動かすための開閉機構28はトッグル機構で構成されている。開閉機構の駆動源30は、弁体の回転軸に平行な方向に配置された複数個の回転シリンダ54により構成されている。回転シリンダの各々の回転シャフト56はカップリング60を用いて直列に結合されている。
請求項（抜粋）：
開口を有した弁箱と、該弁箱の内側に収められ、前記開口の開閉に用いられる弁体と、該弁体に接続された弁棒と、該弁棒を作動させ、前記弁箱の弁座に前記弁体を着座させる閉動作、および該弁座から前記弁体を離間させる開動作を行う開閉機構とを備えたゲートバルブにおいて、前記弁体が、当該弁体に平行な回転軸のまわりに揺動運動を行うように構成されており、前記開閉機構はトッグル機構で構成されており、前記開閉機構の駆動源が、前記回転軸に平行な方向に配置された複数個の回転式アクチュエータにより構成され、前記回転式アクチュエータの各々の回転駆動軸が直列に結合されていることを特徴とするゲートバルブ。
IPC (2件)：
F16K 31/44 ,  F16K 3/18
FI (2件)：
F16K 31/44 C ,  F16K 3/18 A
Fターム (9件)：
3H053AA25 ,  3H053BA24 ,  3H053BD10 ,  3H053DA09 ,  3H063AA04 ,  3H063BB32 ,  3H063DA15 ,  3H063DB45 ,  3H063GG15
引用特許：
出願人引用 (9件)
  • 特開昭59-065685
  • 電動パワーステアリング装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-134928   出願人：光洋精工株式会社
  • ゲートバルブ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-149245   出願人：東京エレクトロン株式会社
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審査官引用 (7件)
  • 特開昭59-065685
  • 電動パワーステアリング装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-134928   出願人：光洋精工株式会社
  • ゲートバルブ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-149245   出願人：東京エレクトロン株式会社
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