ポジ型感光性樹脂組成物、パターンの製造方法及び電子部品

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：酒井宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-065218
公開番号（公開出願番号）：特開2004-272083
出願日： 2003年03月11日
公開日（公表日）： 2004年09月30日
要約：

【課題】良好なi線透過性と硬化後の低い誘電率を備え、さらに高耐熱性に優れるポジ型感光性樹脂組成物を提供する。また本発明は、前記組成物の使用により、感度、解像度および耐熱性に優れ、低誘電率を備える良好な形状のパターンを提供する。また、良好な形状と特性のパターンを有することにより、信頼性の高い電子部品を提供する。【解決手段】(A)分子中にフルオレン構造を有するポリイミド前駆体又はポリオキサゾール前駆体から選ばれる前駆体ポリマー、及び(B)感光剤を含有してなるポジ型感光性樹脂組成物。また、前記(A)成分が下記一般式(1)で表される繰り返し単位を有するポリベンゾオキサゾール前駆体、又は下記一般式(2)で表される繰り返し単位を有するポリイミド前駆体であることを特徴とする感光性樹脂組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)分子中にフルオレン構造を有するポリイミド前駆体又はポリオキサゾール前駆体から選ばれる前駆体ポリマー、及び(B)感光剤を含有してなるポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (4件)：

G03F7/039 , C08G73/10 , C08G73/22 , H01L21/027

FI (4件)：

G03F7/039 , C08G73/10 , C08G73/22 , H01L21/30 502R

Fターム (37件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA10 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE01 , 2H025CB25 , 2H025CB26 , 2H025FA03 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 4J043PA02 , 4J043PA19 , 4J043QB23 , 4J043QB26 , 4J043QB31 , 4J043QB33 , 4J043QB34 , 4J043QB45 , 4J043RA35 , 4J043RA52 , 4J043SA06 , 4J043SA71 , 4J043TA12 , 4J043TA71 , 4J043UA131 , 4J043UA132 , 4J043UA221 , 4J043UA222 , 4J043VA061 , 4J043VA062 , 4J043YA06 , 4J043ZA46 , 4J043ZB02 , 4J043ZB50

引用特許：

審査官引用 (8件)

ポリアミド樹脂、ポジ型感光性樹脂組成物及び半導体装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-206005 出願人：住友ベークライト株式会社
ポリベンゾ・オキサゾール前駆体
公報種別：公表公報出願番号：特願2001-565782 出願人：インフィネオンテクノロジーズアクチエンゲゼルシャフト
感光性樹脂組成物及びこれを用いたレリーフパターンの製造法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-180191 出願人：日立化成工業株式会社

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