特許
J-GLOBAL ID：200903087653447683

カラーフィルタの研磨方法

発明者：
安崎 定信

安崎 定信 について


出願人/特許権者：
凸版印刷株式会社

凸版印刷株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-109657
公開番号（公開出願番号）：特開2005-288649
出願日： 2004年04月02日
公開日（公表日）： 2005年10月20日
要約：
【課題】突起を有するカラーフィルタの突起を研磨除去する際に、或いは、フォトレジストの残渣、凝集物を除去する際に、着色画素を形成する装置と研磨装置を連結させた装置を用い、現状のサイズのガラス基板においては研磨作業の生産性を向上させ、更に大サイズ化したガラス基板においては、安全、且つ生産性を向上させたカラーフィルタの研磨方法を提供すること。【解決手段】カラーフィルタ1を水平搬送し、研磨液供給部1Aにて研磨液をカラーフィルタ面に供給し、研磨部1Bにて矩形の研磨ヘッド12をカラーフィルタ面に接触回動させること。水平搬送の速度が、0.1〜20m/分であること。接触回動の速度が、5〜1000rpmであること。研磨ヘッドが、剛体板と弾性体の複合構造であること。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
研磨されるカラーフィルタ面を上向きにしてカラーフィルタを水平搬送し、研磨部に前置きして設けられた研磨液供給部にて研磨液をカラーフィルタ面に供給し、研磨部にて矩形の研磨ヘッドをカラーフィルタ面に接触回動させることによりカラーフィルタ面を平坦化することを特徴とするカラーフィルタの研磨方法。
IPC (2件)：
B24B37/04 ,  G02B5/20
FI (2件)：
B24B37/04 G ,  G02B5/20 101
Fターム (8件)：
2H048BA02 ,  2H048BA45 ,  2H048BB02 ,  2H048BB28 ,  2H048BB42 ,  3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058CB03
引用特許：
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (8件)
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