光導波路装置、光導波路装置の製造方法及び光通信用装置

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中野雅房
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-011709
公開番号（公開出願番号）：特開2004-086129
出願日： 2003年01月20日
公開日（公表日）： 2004年03月18日
要約：

【課題】光導波路装置の製造工程を簡略化し、また大量生産に適した光導波路装置の製造方法を提供する。【解決手段】シリコン基板21aの導波路固定領域30外に光ファイバを固定するための光ファイバガイド23aと、素子実装用ベンチ33a,33bを設けるための光学素子設置部24a,24bを設ける。シリコン基板21aの導波路固定領域30外には金属薄膜22を形成している。このシリコン基板21aの上面全体に上部クラッド層となる接着樹脂を介して導波路基板15を接着した後、導波路固定領域30の縁に沿って導波路基板15をダイシングし、導波路固定領域30の外部の導波路基板15を除去して光ファイバガイド23aと光学素子設置部24a,24bを露出させる。【選択図】図12

請求項（抜粋）：

光を透過伝搬させるコア及びコアを囲むクラッドからなる光導波路領域を有する第1の基板と、機能部位を有する第2の基板とをほぼ全面にわたって接着して前記機能部位の少なくとも一部を第1の基板の光導波路領域外に対向させた後、前記機能部位に対向する第1の基板の不要部分を除去することを特徴とする光導波路装置の製造方法。

IPC (3件)：

G02B6/13 , G02B6/122 , G02B6/30

FI (3件)：

G02B6/12 M , G02B6/30 , G02B6/12 B

Fターム (22件)：

2H037BA24 , 2H037CA34 , 2H037DA02 , 2H037DA04 , 2H037DA06 , 2H037DA12 , 2H047KA04 , 2H047LA12 , 2H047LA15 , 2H047LA18 , 2H047MA05 , 2H047MA07 , 2H047NA08 , 2H047PA02 , 2H047PA21 , 2H047PA22 , 2H047PA24 , 2H047PA26 , 2H047QA02 , 2H047QA04 , 2H047QA05 , 2H047TA44

引用特許：

審査官引用 (5件)

光導波路モジュール及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-169175 出願人：日本電信電話株式会社
光導波路及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-142316 出願人：日立電線株式会社
光導波路素子の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-005380 出願人：古河電気工業株式会社

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