HDDサスペンション用保護膜材料、HDDサスペンション及びその製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：成瀬勝夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-098857
公開番号（公開出願番号）：特開平10-289432
出願日： 1997年04月16日
公開日（公表日）： 1998年10月27日
要約：

【要約】【課題】作業性と信頼性に優れ、かつ加工精度に優れたHDDサスペンション用保護膜材料、HDDサスペンション及びその製造方法を提供する。【解決手段】少なくとも感光性樹脂層とポリイミド前駆体樹脂層の2層を有してなるHDDサスペンション用保護膜材料。ステンレス箔上に絶縁層及び信号線となる導体層が逐次に形成されたサスペンション基板の表面に、上記のHDDサスペンション用保護膜材料をラミネートしてなるHDDサスペンション。また、上記のサスペンション基板に、上記のHDDサスペンション用保護膜材料を導体層とポリイミド前駆体樹脂層が接するようにラミネートし、感光性樹脂層に任意のパターンが描かれたマスクを介して露光し、酸水溶液により感光性樹脂層を現像処理し、露出したポリイミド前駆体樹脂層をアルカリ水溶液でエッチング処理し、酸水溶液により感光性樹脂層を剥離除去し、熱処理によりポリイミド前駆体樹脂層をイミド化する各工程からなるHDDサスペンションの製造方法。

請求項（抜粋）：

少なくとも感光性樹脂層とポリイミド前駆体樹脂層の2層を有してなるHDDサスペンション用保護膜材料。

IPC (4件)：

G11B 5/60 , B32B 15/08 , B32B 27/34 , G11B 21/21

FI (4件)：

G11B 5/60 P , B32B 15/08 R , B32B 27/34 , G11B 21/21 C

引用特許：

審査官引用 (9件)

積層体
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-086208 出願人：新日鐵化学株式会社
特開昭61-194837
プリント配線板
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-288824 出願人：日東電工株式会社

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