特許
J-GLOBAL ID：200903088642988581

エラーキャンセレーションを有するMEMSデジタル-音響トランスデューサ

発明者：
ローブ,ウェイン エイ.

ローブ,ウェイン エイ. について

, 
ニューマン,ジョン ジェイ.ジュニア

ニューマン,ジョン ジェイ.ジュニア について

, 
ガブリエル,カイガン ジェイ.

ガブリエル,カイガン ジェイ. について


出願人/特許権者：
カーネギー-メロン ユニバーシティ

カーネギー-メロン ユニバーシティ について


代理人 (1件)： 丸山 敏之 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-524394
公開番号（公開出願番号）：特表2003-509984
出願日： 2000年09月13日
公開日（公表日）： 2003年03月11日
要約：
【要約】【解決手段】 基板と、該基板上にマイクロマシンド・メンブレンを作成するこによって形成されたダイヤフラムとを具えている音響トランスデューサである。ダイヤフラムは、CMOS MEMS(マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム)の半導体作製方法を用いて、単一シリコンチップとして形成される。製造工程中のダイヤフラムのカーリングは、長アームと短アームを交互に具えるサーペンチンばねの形態を有するダイヤフラム用マイクロマシンド・メンブレンを作成することによって低減される。マイクロスピーカとして、本発明の音響トランスデューサは、デジタル音声信号を音波に直接変換するから、従来の音響トランスデューサと比べて、製造コストがより安価であり、非常に高品質の音を再生できる。マイクロマシンド・ダイヤフラムは、マイクロホンとしても用いることができる。
請求項（抜粋）：
基板と、 マイクロマシンド・メンブレンを基板上に作成するこによって形成されたダイヤフラムと、を具えている音響トランスデューサ。
IPC (7件)：
H04R 23/00 310 ,  H04R 23/00 320 ,  B81B 3/00 ,  B81B 7/02 ,  H04R 1/00 310 ,  H04R 1/00 320 ,  H04R 3/00 310
FI (7件)：
H04R 23/00 310 ,  H04R 23/00 320 ,  B81B 3/00 ,  B81B 7/02 ,  H04R 1/00 310 Z ,  H04R 1/00 320 Z ,  H04R 3/00 310
Fターム (4件)：
5D017AA20 ,  5D020AC07 ,  5D020BB10 ,  5D021DD01
引用特許：
出願人引用 (14件)
  • 特開昭63-025982
  • マイクロメカニカルセンサ
    公報種別：公表公報   出願番号：特願平5-516352   出願人：ブリティッシュ・テクノロジー・グループ・リミテッド
  • 圧力センサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-082551   出願人：シーメンスアクチエンゲゼルシヤフト
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審査官引用 (15件)
  • 特開昭63-025982
  • 特開昭63-025982
  • マイクロメカニカルセンサ
    公報種別：公表公報   出願番号：特願平5-516352   出願人：ブリティッシュ・テクノロジー・グループ・リミテッド
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