カーボンナノチューブを用いた電子放出素子用電極材料およびその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (4件)：日比紀彦 , 岸本瑛之助 , 渡邊彰 , 清末康子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-030703
公開番号（公開出願番号）：特開2004-241295
出願日： 2003年02月07日
公開日（公表日）： 2004年08月26日
要約：

【課題】大量生産に向きコスト的に有利であり、また、FEDの電極として使用した場合に、駆動電圧を低減しかつ表示画面を細かくすることができる、カーボンナノチューブを用いた電子放出素子用電極材料およびその製造方法、さらにFEDを提供する。【解決手段】基板(1) 表面に所要パターンで凹部(5) と凸(4) 部を形成しておき、基板表面全体に触媒粒子からなる薄膜(6) を形成し、薄膜上に化学蒸着法を施すことにより凸部上の薄膜表面の触媒粒子を核としてブラシ状カーボンナノチューブ(7) を成長させる。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

基板表面に所要パターンで凹凸を形成しておき、基板表面全体に触媒粒子からなる薄膜を形成し、薄膜上に化学蒸着法を施すことにより凸部上の薄膜表面の触媒粒子を核としてブラシ状カーボンナノチューブを成長させることを特徴とするカーボンナノチューブの製造方法。

IPC (7件)：

H01J9/02 , B82B1/00 , B82B3/00 , C01B31/02 , H01J1/304 , H01J29/04 , H01J31/12

FI (7件)：

H01J9/02 B , B82B1/00 , B82B3/00 , C01B31/02 101F , H01J29/04 , H01J31/12 C , H01J1/30 F

Fターム (33件)：

4G146AA11 , 4G146AB10 , 4G146AD29 , 4G146BA12 , 4G146BB23 , 4G146BC09 , 4G146BC23 , 4G146BC33B , 4G146BC37B , 4G146BC44 , 5C031DD17 , 5C036EE14 , 5C036EE19 , 5C036EF01 , 5C036EF06 , 5C036EF09 , 5C036EG12 , 5C036EH11 , 5C127AA01 , 5C127BA06 , 5C127BA15 , 5C127BB07 , 5C127CC03 , 5C127DD23 , 5C127EE06 , 5C127EE15 , 5C127EE20 , 5C135AA06 , 5C135AA15 , 5C135AB07 , 5C135HH06 , 5C135HH15 , 5C135HH20

引用特許：

審査官引用 (6件)

炭素系超微細冷陰極及びその作製方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-301259 出願人：日本真空技術株式会社
電子放出装置の製造方法、冷陰極電界電子放出素子の製造方法、並びに、冷陰極電界電子放出表示装置の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-191424 出願人：ソニー株式会社
電界放出型冷陰極装置、その製造方法及び真空マイクロ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-249096 出願人：株式会社東芝

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