特許
J-GLOBAL ID：200903088780487321
薄膜引っ張り試験システム及び方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
坂上 正明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-220012
公開番号（公開出願番号）：特開2003-035640
出願日： 2001年07月19日
公開日（公表日）： 2003年02月07日
要約：
【要約】【課題】 簡便な方法で所望の試験片形状が加工でき、試験片を破損することのない、測定の精度が高い、又低コスト化が実現される薄膜引っ張り試験システム及び方法を提供する。【解決手段】 本発明の引っ張り試験方法では、試験片用基板を引っ張り試験機に固定した後に加工/観察用プローブを用い、電気化学反応によって試験片用基板上に薄膜試験片を作製し、試験片把持用プローブで薄膜試験片を固定した後に、試験片用基板から薄膜試験片を取り外し、そのまま引っ張り試験を実施するという方法を用いた。さらに薄膜試験片の伸び量の測定は、加工/観察用プローブを用いて走査型トンネル顕微鏡の原理により実施するという方法を用いた。
請求項（抜粋）：
薄膜の引っ張り試験をおこなう薄膜引っ張り試験システムにおいて、薄膜試験片の加工をおこなう加工用プローブと、前記薄膜試験片が作製される試験片用基板と、前記薄膜試験片を把持するための少なくとも二本の試験片把持用プローブと、前記試験片把持用プローブのうち、少なくとも一方を移動させるための把持用プローブ移動機構と、引っ張り試験をおこなう際に前記薄膜試験片に働く力を測定する発生力測定機と、前記薄膜試験片の伸びを測定する観察用プローブと、前記薄膜試験片を基板から剥離させるための加工液漕と、から構成されることを特徴とした薄膜引っ張り試験システム。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (14件)：
2G052AA13
, 2G052EC12
, 2G052EC14
, 2G052FD06
, 2G052FD20
, 2G052GA03
, 2G052HC21
, 2G052JA15
, 2G061AA01
, 2G061AB01
, 2G061CA05
, 2G061CA16
, 2G061EA01
, 2G061EA02
