特許
J-GLOBAL ID:200903088893128417
偏光干渉顕微鏡
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
藤田 アキラ
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-102705
公開番号(公開出願番号):特開2007-279747
出願日: 2007年04月10日
公開日(公表日): 2007年10月25日
要約:
【課題】偏光干渉顕微鏡の提供。【解決手段】 対象物(5)を結像するための偏光干渉顕微鏡(1)は、光源(2)、照明ビーム路(6)、結像ビーム路(7)及び対物レンズ(4)を備える。照明ビーム路(6)は光源(2)から対象物(5)に延在する。結像ビーム路(7)は対象物(5)から検出器又はチューブ(3)に延在する。少なくとも1つの偏光手段(9)が照明ビーム路(6)及び/又は結像ビーム路(7)に設けられ、少なくとも1つの偏光手段によって、予め設定可能な偏光状態にそれぞれのビーム路(6、7)の光を変換することができる。検光子手段(10)が結像ビーム路(7)に設けられる。複屈折構成要素が偏光手段(9)と検光子手段(10)との間に設けられ、偏光手段(9)によって偏光された光を、複屈折構成要素によって異なる偏光方向を有する2つの部分ビーム(13、14)に分割することができる。構成要素は、2つの部分ビーム(13、14)の間の分割を行うことができる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
光源(2)と、照明ビーム路(6)と、結像ビーム路(7)と、対物レンズ(4)とを備える、対象物(5)を結像するための偏光干渉顕微鏡であって、前記照明ビーム路(6)が前記光源(2)から前記対象物(5)に延在し、前記結像ビーム路(7)が前記対象物(5)から検出器又はチューブ(3)に延在し、少なくとも1つの偏光手段(9)が前記照明ビーム路(6)及び/又は前記結像ビーム路(7)に設けられ、前記少なくとも1つの偏光手段によって、予め設定可能な偏光状態に前記それぞれのビーム路(6、7)の光を変換することができ、前記結像ビーム路(7)に検光子手段(10)が設けられ、前記偏光手段(9)と前記検光子手段(10)との間に複屈折構成要素が設けられ、前記偏光手段(9)によって偏光された光を、前記複屈折構成要素によって異なる偏光方向を有する2つの部分ビーム(13、14)に分割でき、かつ前記複屈折構成要素によって、2つの部分ビーム(13、14)の間の分割を行うことができ、
前記構成要素が、前記2つの部分ビーム(13、14)の間の分割が可変に設定可能であるように形成された液晶要素(11、21、23)を有する、偏光干渉顕微鏡。
IPC (3件):
G02B 21/00
, G02B 21/18
, G02F 1/13
FI (3件):
G02B21/00
, G02B21/18
, G02F1/13 505
Fターム (15件):
2H052AA01
, 2H052AA04
, 2H052AB24
, 2H052AC08
, 2H052AC14
, 2H052AC27
, 2H052AD34
, 2H052AF02
, 2H088EA47
, 2H088GA02
, 2H088HA03
, 2H088HA06
, 2H088JA04
, 2H088KA06
, 2H088MA20
引用特許:
出願人引用 (3件)
審査官引用 (5件)
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光束制御装置、干渉装置及び微分干渉顕微鏡装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-235041
出願人:オリンパス株式会社
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偏光干渉顕微鏡
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-349847
出願人:ライカミクロジュステムスヴェツラーゲーエムベーハー
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段差測定装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-188509
出願人:株式会社ニコン
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