特許
J-GLOBAL ID:200903089083838139
マイクロレンズの作製方法および装置並びにマイクロレンズ
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
柳田 征史
, 佐久間 剛
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-053536
公開番号(公開出願番号):特開2005-242109
出願日: 2004年02月27日
公開日(公表日): 2005年09月08日
要約:
【課題】 特に高さが低いようなマイクロレンズも容易かつ高精度に、そして形状バラツキも少なくして作製可能な方法を得る。 【解決手段】 透明基板10の上に、所定形状にパターニングして透明樹脂11aの層を形成し、この樹脂11aにそれが溶解する溶剤59をこの樹脂11aの周囲から吸収させ、流動性を持たせることで表面張力により該樹脂11aの表面を凸面化させ、次いで前記溶剤を乾燥させて、樹脂11aの凸面化した部分をレンズとする。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
透明基板の上に、所定形状にパターニングして透明樹脂の層を形成し、
この樹脂に該樹脂が溶解する溶剤をこの樹脂の周囲から吸収させ、流動性を持たせることで表面張力により該樹脂の表面を凸面化させ、
次いで前記溶剤を乾燥させて、前記樹脂の凸面化した部分をレンズとすることを特徴とするマイクロレンズの作製方法。
IPC (2件):
FI (2件):
G02B3/00 A
, G03F7/40 511
Fターム (4件):
2H096AA28
, 2H096BA01
, 2H096BA09
, 2H096HA05
引用特許:
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (2件)
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