特許
J-GLOBAL ID：200903089295280111
単結晶試料の結晶方位測定方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (4件)：
青木 篤
, 鶴田 準一
, 島田 哲郎
, 水谷 好男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-270275
公開番号（公開出願番号）：特開2009-098008
出願日： 2007年10月17日
公開日（公表日）： 2009年05月07日
要約：
【課題】単結晶試料の菊池パターンの面指数付けの精度を向上し、広範囲の結晶方位分布を測定する。【解決手段】本発明の単結晶試料の結晶方位測定方法は、六方晶系単結晶試料の結晶方位を後方散乱電子回折法によって測定するために、試料座標系におけるTD軸を前記六方晶系単結晶試料の[0001]方向と平行に配置して後方散乱電子回折パターンを取得するステップと、前記取得した後方散乱電子回折パターンをコンピュータ解析して面指数付けを行うステップと、前記指数付けされた面指数分布に基づいて前記試料の結晶方位を決定するステップと、を含む。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
六方晶系単結晶試料の結晶方位を後方散乱電子回折法によって測定する方法であって、
試料座標系におけるTD軸を前記六方晶系単結晶試料の[0001]方向と平行に配置して後方散乱電子回折パターンを取得するステップと、
前記取得した後方散乱電子回折パターンをコンピュータ解析して面指数付けを行うステップと、
前記指数付けされた面指数分布に基づいて前記試料の結晶方位を決定するステップと、を含む、単結晶試料の結晶方位測定方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (11件)：
2G001AA03
, 2G001BA15
, 2G001BA18
, 2G001CA03
, 2G001DA09
, 2G001GA14
, 2G001HA07
, 2G001HA13
, 2G001JA07
, 2G001KA08
, 2G001SA07
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (5件)
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