特許
J-GLOBAL ID：200903089313867087

高周波装置

発明者：
大前 修二

大前 修二 について

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前田 浩延

前田 浩延 について

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田中 良平

田中 良平 について

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伊藤 秀雄

伊藤 秀雄 について


出願人/特許権者：
株式会社ダイヘン

株式会社ダイヘン について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-093974
公開番号（公開出願番号）：特開2008-181846
出願日： 2007年03月30日
公開日（公表日）： 2008年08月07日
要約：
【課題】 従来の高周波装置は、高周波電力の出力周波数を可変させて、反射係数絶対値Γを小さくする制御を行っている。しかし、負荷側インピーダンスZLのリアクタンス成分Xの調整はできるが、抵抗成分Rの調整があまりできないので、反射係数絶対値Γを小さくできない場合があった。【解決手段】 本発明の高周波装置は、周波数制御回路11によって、高周波電力の出力周波数を可変させて、反射係数絶対値Γを小さくする制御を行う。また、この制御によって反射係数絶対値Γが基準値よりも小さくならない場合は、リアクタンス素子制御回路19によって、インピーダンス調整器3の内部にある可変コンデンサVC1を可変させ、反射係数絶対値Γを小さくする制御を行う。そのため、従来よりも反射係数絶対値Γを小さくできる。また、可変コンデンサVC2を用いて、さらなる調整が可能である。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
負荷に高周波電力を供給するための高周波装置であって、 発振周波数を可変できる発振手段と、 前記発振手段から出力される発振信号を増幅させて電力発生源となり、前記負荷に高周波電力を供給する高周波電力供給手段と、 反射波電力に関係する反射波情報を演算して、演算した反射波情報を出力する反射波情報演算手段と、 前記反射波情報が小さくなるように、前記発振手段の発振周波数を制御する周波数制御手段と、 前記高周波電力供給手段と負荷との間に設けられ、且つ少なくとも1つの可変リアクタンス素子を有し、前記可変リアクタンス素子の1つが制御可能なインピーダンス調整手段と、 前記反射波情報が小さくなるように、前記インピーダンス調整手段の制御可能な可変リアクタンス素子を制御する素子制御手段と、 を備えた高周波装置。
IPC (5件)：
H05H 1/46 ,  H03G 3/30 ,  G05F 1/00 ,  H01L 21/306 ,  C23C 16/505
FI (5件)：
H05H1/46 R ,  H03G3/30 B ,  G05F1/00 D ,  H01L21/302 101 ,  C23C16/505
Fターム (20件)：
4K030JA18 ,  4K030KA30 ,  4K030KA41 ,  5F004BB11 ,  5F004BD04 ,  5F004CA03 ,  5F004CB05 ,  5H410BB06 ,  5H410BB08 ,  5H410BB09 ,  5H410CC03 ,  5H410DD03 ,  5H410DD10 ,  5H410EB38 ,  5H410FF07 ,  5J100JA01 ,  5J100KA05 ,  5J100LA09 ,  5J100QA01 ,  5J100SA00
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (7件)
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