特許
J-GLOBAL ID：200903099666297859
プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置及び整合器のオートラーニングプログラム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐々木 聖孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-102586
公開番号（公開出願番号）：特開2006-286306
出願日： 2005年03月31日
公開日（公表日）： 2006年10月19日
要約：
【課題】 処理条件の特別な選定や切り替えを要することなく、またプロセスに影響を与えることなくプラズマを容易に着火させること。【解決手段】 上部整合器44は、インピーダンス可変の可変整合器であり、整合回路102の可変リアクタンス素子のインピーダンス・ポジションを可変制御するためのコントローラ104と、整合回路102を含めた負荷インピーダンスを測定する機能を有するRFセンサ106とを有している。Vpp測定回路112は、上部整合器44の出力側で導波路上の高周波電圧の波高値(ピーク対ピーク値)Vppを測定する。主制御部100は、整合器44,88におけるインピーダンス・ポジションのオフ・プリセット値最適化のためのオートラーニングを実行制御する。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
減圧可能なチャンバ内でプラズマを生成するために前記チャンバの中または外に配置された第1の高周波電極に第1の高周波電源より第1の周波数を有する第1の高周波を第1の可変整合器を介して給電し、前記チャンバ内の所定位置に配置された被処理基板に所望のプラズマ処理を施すプラズマ処理方法であって、
前記チャンバ内でプラズマを着火させるために、前記第1の可変整合器における可変インピーダンスのうち前記第1の高周波電極に得られる高周波電圧の波高値が最大または最大付近になる第1のインピーダンスの下で前記第1の高周波電極に対する前記第1の高周波の給電を開始する第1の工程と、
前記チャンバ内でプラズマの着火した後に前記第1の高周波電源側のインピーダンスに負荷インピーダンスを整合させるように前記第1の可変整合器のインピーダンスを可変制御する第2の工程と
を有するプラズマ処理方法。
IPC (3件)：
H05H 1/46
, H03H 7/40
, H01L 21/306
H05H1/46 R
, H05H1/46 M
, H03H7/40
, H01L21/302 101B
5F004BA09
, 5F004BB11
, 5F004CA03
, 5F004CA06
, 5F004CA07
, 5F004CB05
, 5F004CB07
出願人引用 (1件)
審査官引用 (9件)
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