焼成炉、焼成炉における一酸化珪素の除去方法、及び炭化珪素製フィルタの製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：恩田博宣 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-046463
公開番号（公開出願番号）：特開2002-249385
出願日： 2001年02月22日
公開日（公表日）： 2002年09月06日
要約：

【要約】【課題】焼成炉内にある炭化珪素成形体等の炭素製部材が劣化するのを防止すること。【解決手段】焼成炉21は、一端部に投入口24を有し、他端部に排出口25を有するマッフル23を備えている。マッフル23内には炭化珪素成形体16を加熱するヒータ29が設けられている。マッフル23の内部には、炭化珪素成形体16を搬送するコンベアベルト26が設けられている。炭化珪素成形体16は、ヒータ29で加熱されながらコンベアベルト26により投入口24から排出口25に搬送される。マッフル23の上面には、上下方向に沿って延びる2つの排気筒31が突出されている。この排気筒31には、一酸化珪素を除去するための一酸化珪素除去材36が設けられている。そして、炭化珪素成形体16を加熱する際に発生する一酸化珪素は、一酸化珪素除去材36で除去される。

請求項（抜粋）：

一端に炭化珪素成形体が投入される投入口を有するとともに、他端に炭化珪素成形体が排出される排出口を有するマッフルと、炭化珪素成形体を前記投入口から排出口に向かって搬送する搬送手段と、前記マッフル内を移動する前記炭化珪素成形体を加熱する加熱手段と、マッフル内の気体が排出される排気経路とを備えた焼成炉において、前記マッフル内の気体に含まれる一酸化珪素を除去する一酸化珪素除去手段を前記排気経路に設けたことを特徴とする焼成炉。

IPC (4件)：

C04B 35/64 , C04B 35/565 , F27B 9/04 , F27D 7/06

FI (4件)：

F27B 9/04 , F27D 7/06 A , C04B 35/64 H , C04B 35/56 101 Z

Fターム (14件)：

4G001BA22 , 4G001BB22 , 4G001BC61 , 4K050AA04 , 4K050BA07 , 4K050CC07 , 4K050CC10 , 4K050CG09 , 4K063AA06 , 4K063BA04 , 4K063CA03 , 4K063CA05 , 4K063DA05 , 4K063DA24

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平2-255581
膜形成素材を含む基板の焼成装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-022301 出願人：株式会社ノリタケカンパニーリミテド, 九州ノリタケ株式会社
特開昭57-033779

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