光学計測システム

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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：三好秀和 , 高松俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-275677
公開番号（公開出願番号）：特開2007-086470
出願日： 2005年09月22日
公開日（公表日）： 2007年04月05日
要約：

【課題】測定部位から2つの光学計測器に至る2つの光路を光量の減衰をともなわずに分離して光学計測をすること。【解決手段】第1の光学計測器および第2の光学計測器を具備する光学計測システムであって、測定部位から前記第1の光学計測器に至る第1の光線を導く第1の光路および前記測定部位から前記第2の光学計測器に至る第2の光線を導く第2の光路が設けられ、前記第1の光路および前記第2の光路が通る光学系が前記第1および第2の光路が相互に近軸となるように設けられ、前記第1の光路の方向を変更する反射領域がこれに交差するように前記第2の光路が設けられ、前記反射領域と前記第2光路が交差する領域に設けられた光透過領域であって前記反射領域より光透過率の高いものを具備する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

第1の光学計測器および第2の光学計測器を具備する光学計測システムであって、測定部位から前記第1の光学計測器に至る第1の光線を導く第1の光路および前記測定部位から前記第2の光学計測器に至る第2の光線を導く第2の光路が設けられ、前記第1の光路および前記第2の光路が通る光学系であって、前記第1および第2の光路が相互に近軸に設けられている光学系、前記光学系を通った前記第1の光路の方向を変更する反射領域であって、これに交差するように前記第2の光路が設けられる反射領域、および前記反射領域と前記第2光路が交差する位置に設けられた光透過領域であって、前記反射領域より光透過率の高いものを具備することを特徴とする光学計測システム。

IPC (3件)：

G02B 7/32 , G02B 7/28 , G01B 11/00

FI (3件)：

G02B7/11 B , G02B7/11 N , G01B11/00 B

Fターム (36件)：

2F065AA02 , 2F065AA06 , 2F065AA19 , 2F065AA53 , 2F065CC16 , 2F065DD06 , 2F065FF10 , 2F065GG06 , 2F065HH04 , 2F065JJ03 , 2F065JJ23 , 2F065JJ26 , 2F065LL00 , 2F065LL04 , 2F065LL12 , 2F065LL20 , 2F065LL42 , 2F065LL67 , 2F065MM26 , 2F065PP02 , 2F065QQ13 , 2F065QQ28 , 2F065SS02 , 2F065SS13 , 2H051AA15 , 2H051BB13 , 2H051BB14 , 2H051BB22 , 2H051CB02 , 2H051CB05 , 2H051CB11 , 2H051CB13 , 2H051CB14 , 2H051CC03 , 2H051CC13 , 2H051CC14

引用特許：

出願人引用 (3件)

表面形状測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-106831 出願人：三鷹光器株式会社
立体顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-019157 出願人：三鷹光器株式会社
固定高倍率切換型顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-045479 出願人：三鷹光器株式会社

審査官引用 (6件)

オートフォーカス装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-139690 出願人：オリンパス光学工業株式会社
層および表面特性の光学測定方法およびその装置
公報種別：公表公報出願番号：特願2001-523592 出願人：エムケーエスインストゥルメンツインコーポレーテッド
顕微鏡のオートフォーカス方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-129873 出願人：株式会社日立国際電気

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