穴領域検出装置および穴領域検出方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松阪正弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-143798
公開番号（公開出願番号）：特開2005-326227
出願日： 2004年05月13日
公開日（公表日）： 2005年11月24日
要約：

【課題】基板の表面に照射される照明光のみを利用して基板の穴の領域を検出する。【解決手段】基板9のパターン形成面とは反対側の裏面側からの基板9を貫通する穴への光の入射を遮り、かつ、照明光に対してパターン形成面とは異なる反射特性を有するステージ部20上に裏面を対向させて基板9が配置され、パターン形成面9aに向けて光源部31から照明光が照射される。撮像部33では、パターン形成面からの光を受光することにより被検査画像が取得され、コンピュータ4が実現する穴領域特定部では、画像情報としては被検査画像のみを利用し、基板9を貫通する穴に入射する照明光のステージ部20における反射状態に従った画素値の条件に基づいて、被検査画像中の基板9の穴に対応する穴領域が特定される。これにより、光源部31からの照明光の反射光による被検査画像のみを利用して基板9の穴の領域を検出することができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板を貫通する穴の領域を検出する穴領域検出装置であって、基板の一の主面に照射される照明光を出射する光源部と、前記基板の前記一の主面とは反対側の他の主面に対向して配置され、前記他の主面側からの前記基板を貫通する穴への光の入射を遮り、かつ、前記照明光に対して前記一の主面とは異なる反射特性を有する対向部材と、前記照明光が照射される前記一の主面からの光を受光することにより、前記一の主面を示す対象画像を取得する撮像部と、画像情報としては前記対象画像のみを利用し、前記基板を貫通する穴に入射する前記照明光の前記対向部材における反射状態に従った画素値の条件に基づいて、前記対象画像中の前記基板を貫通する穴に対応する穴領域を特定する穴領域特定部と、を備えることを特徴とする穴領域検出装置。

IPC (3件)：

G01B11/00 , G01N21/956 , G06T1/00

FI (3件)：

G01B11/00 H , G01N21/956 B , G06T1/00 305C

Fターム (37件)：

2F065AA03 , 2F065AA58 , 2F065BB02 , 2F065CC01 , 2F065FF41 , 2F065GG03 , 2F065GG24 , 2F065HH13 , 2F065JJ03 , 2F065JJ09 , 2F065JJ26 , 2F065PP12 , 2F065QQ00 , 2F065QQ04 , 2F065QQ21 , 2G051AA65 , 2G051AB02 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051DA07 , 2G051ED01 , 2G051ED04 , 2G051ED08 , 2G051ED21 , 5B057AA03 , 5B057BA02 , 5B057CA01 , 5B057CA08 , 5B057CA12 , 5B057CA16 , 5B057DA08 , 5B057DB02 , 5B057DB06 , 5B057DB09 , 5B057DC03 , 5B057DC04 , 5B057DC06

引用特許：

出願人引用 (5件)

配線パターン検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-329108 出願人：松下電器産業株式会社
パターン検出方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-154730 出願人：株式会社日立製作所
カラー画像の領域分割
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-054846 出願人：大日本スクリーン製造株式会社

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