特許
J-GLOBAL ID：200903090382008396

吸着プレート及び真空吸引装置

発明者：
石川 敬展

石川 敬展 について

, 
小野田 光貢

小野田 光貢 について


出願人/特許権者：
日本特殊陶業株式会社

日本特殊陶業株式会社 について


代理人 (1件)： 足立 勉 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-217069
公開番号（公開出願番号）：特開2001-038613
出願日： 1999年07月30日
公開日（公表日）： 2001年02月13日
要約：
【要約】【課題】 吸着プレートを真空吸引装置本体に取り付けた場合でも、吸着プレートの吸着面の平面度を好ましい値にできる吸着プレート及び真空吸引装置を提供すること。【解決手段】 研磨ヘッド本体13の吸引口側に装着され、被加工物を吸引して保持する吸着プレート17であり、この吸着プレート17は、被加工物を吸引して保持する吸着面Kと、研磨ヘッド本体13への装着時に該研磨ヘッド本体13に接する装着面Sを備えるとともに、装着面Sの装着前の平面度は、吸着面Kの装着前の平面度の2倍以下に設定されている。
請求項（抜粋）：
真空吸引装置本体の吸引口側に装着され、被加工物を吸引して保持する吸着プレートにおいて、前記吸着プレートは、前記被加工物を吸引して保持する吸着面と、前記真空吸引装置本体への装着時に該真空吸引装置本体側となる装着面とを備えるとともに、前記装着面の装着前の平面度は、前記吸着面の装着前の平面度の2倍以下であることを特徴とする吸着プレート。
IPC (3件)：
B24B 37/04 ,  B24B 41/06 ,  H01L 21/68
FI (3件)：
B24B 37/04 H ,  B24B 41/06 L ,  H01L 21/68 P
Fターム (16件)：
3C034AA13 ,  3C034AA17 ,  3C034BB73 ,  3C034DD10 ,  3C034DD20 ,  3C058AA07 ,  3C058AB04 ,  3C058CA06 ,  3C058CB01 ,  3C058DA17 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031GA08 ,  5F031HA02 ,  5F031HA13 ,  5F031MA22
引用特許：
出願人引用 (5件)
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