特許
J-GLOBAL ID：200903090693659560

半導体デバイス検査装置及び半導体デバイス検査方法

発明者：
坂本 繁

坂本 繁 について

, 
竹嶋 智親

竹嶋 智親 について


出願人/特許権者：
浜松ホトニクス株式会社

浜松ホトニクス株式会社 について


代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-196769
公開番号（公開出願番号）：特開2002-014145
出願日： 2000年06月29日
公開日（公表日）： 2002年01月18日
要約：
【要約】【課題】 短時間で効率的に異常箇所の発光スペクトル解析を実行することが可能な半導体デバイス検査装置及び半導体デバイス検査方法を提供する。【解決手段】 半導体デバイスSの像から観測像を生成する対物レンズ11a〜11cを含む対物レンズ部11と、観測像を撮像する撮像カメラ3との間に、導光光学系1での導光光路上の分光位置と、導光光路から外れた待機位置とを移動可能な分光器2を設置する。そして、発光スペクトル解析が必要な場合に、半導体デバイスSからの発光像を分光位置に挿入した分光器2によって分光して、生成された発光スペクトル像を撮像カメラ3で取得する。これによって、通常の発光像または反射光像の取得と、発光スペクトル像の取得とが両立されるとともに、短時間で効率的な異常箇所の発光スペクトル解析の実行が可能となる。
請求項（抜粋）：
半導体デバイスからの発光を観測して、その異常箇所を検出する半導体デバイス検査装置であって、前記半導体デバイスの像に対して、所定の視野範囲を選択して観測像を生成する対物レンズを含み、所定の導光軸に沿って前記観測像を導光する導光光学系と、前記導光光学系を介して、結像されつつ入力される前記観測像を撮像する撮像手段と、前記対物レンズと前記撮像手段との間に、前記導光軸を含んで前記観測像が通過する分光位置と、前記導光軸を外れた待機位置との間を移動可能に設置された分光手段と、を備え、前記分光手段は、前記半導体デバイスからの発光を前記視野範囲内に含む前記観測像である発光像に対して発光スペクトル解析を行うときに、前記撮像手段へと導光される前記発光像を前記分光位置で分光して、前記撮像手段で撮像可能な発光スペクトル像を生成することを特徴とする半導体デバイス検査装置。
IPC (6件)：
G01R 31/302 ,  G01J 3/18 ,  G01J 3/443 ,  G01R 1/06 ,  H01L 21/66 ,  G01N 21/84
FI (6件)：
G01J 3/18 ,  G01J 3/443 ,  G01R 1/06 F ,  H01L 21/66 N ,  G01N 21/84 Z ,  G01R 31/28 L
Fターム (35件)：
2G011AA01 ,  2G011AD02 ,  2G011AE01 ,  2G020BA17 ,  2G020CA01 ,  2G020CC04 ,  2G020CC06 ,  2G020CD04 ,  2G020CD14 ,  2G032AD08 ,  2G032AF07 ,  2G051AA51 ,  2G051AB07 ,  2G051BA06 ,  2G051CA04 ,  2G051CB10 ,  2G051CC20 ,  2G051DA08 ,  2G051EA30 ,  2G051FA01 ,  4M106AA01 ,  4M106BA01 ,  4M106BA20 ,  4M106CA70 ,  4M106DB19 ,  4M106DH04 ,  4M106DH12 ,  4M106DH38 ,  4M106DH39 ,  4M106DH50 ,  4M106DH60 ,  4M106DJ04 ,  4M106DJ05 ,  4M106DJ06 ,  4M106DJ23
引用特許：
審査官引用 (7件)
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