特許
J-GLOBAL ID:200903090782103592
ピンセット及びこれを備えたマニュピレータシステム並びにピンセットの製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
志賀 正武
, 高橋 詔男
, 青山 正和
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-017158
公開番号(公開出願番号):特開2005-205573
出願日: 2004年01月26日
公開日(公表日): 2005年08月04日
要約:
【課題】電子顕微鏡観察用の試料を挟持可能なものであって、挟持する力(挟持力)を容易且つ高精度に検出することができるピンセット及びその挟持力制御装置を提供する。【解決手段】半導体材料により形成され、それぞれ対向する側の先端に試料を挟持する挟持面31a、32aを有する一対の棒状挟持部材31、32を備え、少なくとも一方の棒状挟持部材31、32が、半導体材料の特性に応じて電気的特性が変化する歪センサ33、34を内蔵している。また検出した力に基ずいて挟持する力を制御する制御装置を備える。【選択図】図3
請求項(抜粋):
電子顕微鏡観察用の試料を挟持可能なピンセットであって、
半導体材料により形成され、それぞれ対向する側の先端に前記試料を挟持する挟持面を有する一対の棒状挟持部材を備え、
少なくとも一方の前記棒状挟持部材が、前記半導体材料の特性に応じて電気的特性が変化する歪センサを内蔵していることを特徴とするピンセット。
IPC (4件):
B25J15/08
, B25J13/08
, G01L1/18
, H01J37/20
FI (4件):
B25J15/08 W
, B25J13/08 Z
, G01L1/18 A
, H01J37/20 A
Fターム (12件):
3C007BS30
, 3C007ES03
, 3C007ET08
, 3C007EV02
, 3C007EW11
, 3C007KS33
, 3C007KV06
, 3C007KX07
, 3C007LV06
, 3C007XG05
, 5C001AA08
, 5C001CC04
引用特許:
出願人引用 (2件)
-
トルクセンサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-188260
出願人:光洋精工株式会社
-
マイクロ・ピンセット
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-116554
出願人:横河電機株式会社
審査官引用 (6件)
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