電子顕微鏡

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (2件)：小川勝男 (外1名) , 小川勝男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-299726
公開番号（公開出願番号）：特開2002-103298
出願日： 2000年09月29日
公開日（公表日）： 2002年04月09日
要約：

【要約】【課題】電子顕微鏡の真空中、電子線下で生物試料に微細操作を行えるようにする。【解決手段】電子顕微鏡において、真空の試料室2内で複数の指片15,16により微小試料30を掴んで微小な回動,移動,開放動作が可能なマニュピレータ10を備える。指片同士の先端合わせの位置ずれの有無を検出する手段を備え、マニュピレータ10には、電子線によるチャージアップ防止手段を設けたり、マニュピレータのアクチュエータ20,21には、該アクチュエータから生じる電界をシールドするための電磁シールドを設けた。

請求項（抜粋）：

電子顕微鏡において、真空の試料室内で複数の指片により微小試料を掴んで微小な回動,移動,開放動作が可能なマニュピレータと、前記指片に上記微小な動きをさせるための駆動機構と、前記駆動機構への電力供給用及び電気信号検出用のリード線を試料室の内から外へ気密性を保持して引き出す手段と、前記駆動機構を電気的に制御する制御手段と、試料室外からの操作により前記マニュピレータを光軸に対して位置合わせする位置調整機構と、試料台に載置された試料からの電子線情報による観察像を表示する表示手段と、を備えたことを特徴とする電子顕微鏡。

IPC (4件)：

B81B 7/02 , B25J 7/00 , B25J 11/00 , H01J 37/20

FI (4件)：

B81B 7/02 , B25J 7/00 , B25J 11/00 D , H01J 37/20 Z

Fターム (5件)：

3F060BA10 , 3F060EA07 , 3F060EA10 , 5C001AA08 , 5C001CC04

引用特許：

審査官引用 (8件)

荷電粒子ビーム装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-225483 出願人：株式会社日立製作所
試料ホルダ
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-007011 出願人：日本電子株式会社
二本指マイクロハンド機構
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-300307 出願人：工業技術院長

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