特許
J-GLOBAL ID：200903090927822428

高さ測定装置および方法

発明者：
篠山 伸彌

篠山 伸彌 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (2件)： 古谷 史旺 ,  森 俊秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-292477
公開番号（公開出願番号）：特開2007-101399
出願日： 2005年10月05日
公開日（公表日）： 2007年04月19日
要約：
【課題】 高さ測定の技術を提供する。【解決手段】 本発明の高さ測定装置は、被検物の所定の高さ方向について高さを測定する高さ測定装置であって、照射部、センサ部、および高さ検出部を備える。照射部は、波長が異なる複数の光束を高さ方向に隙間無く配列した照射光束を、高さ方向に対して傾いた角度で被検物の測定箇所に照射する。センサ部は、照射光束による被検物の測定箇所からの反射光を受光し、反射光の波長を検出する。高さ検出部は、センサ部で検出された反射光の波長に基づいて、測定箇所における被検物の高さを求める。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
被検物の所定の測定箇所における高さを測定する高さ測定装置であって、 波長が異なる複数の光束を高さ方向に隙間無く配列した照射光束を、前記高さ方向に対して傾いた角度で前記被検物の前記測定箇所に照射する照射部と、 前記照射光束による前記被検物の前記測定箇所からの反射光を受光し、前記反射光の波長を検出するセンサ部と、 前記センサ部で検出された前記反射光の波長に基づいて、前記測定箇所における前記被検物の高さを求める高さ検出部と を備えたことを特徴とする高さ測定装置。
IPC (1件)：
G01B 11/02
FI (1件)：
G01B11/02 Z
Fターム (25件)：
2F065AA22 ,  2F065AA24 ,  2F065BB02 ,  2F065CC01 ,  2F065CC26 ,  2F065DD03 ,  2F065DD06 ,  2F065FF41 ,  2F065GG06 ,  2F065GG14 ,  2F065GG23 ,  2F065HH04 ,  2F065HH05 ,  2F065HH12 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ09 ,  2F065LL08 ,  2F065LL09 ,  2F065LL22 ,  2F065LL47 ,  2F065LL67 ,  2F065MM03 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ25
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (5件)
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